超純水處理設(shè)備，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。

隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進步，我國藥典對i用水的法定制備方法進行了重新定義。當活性碳過濾器因截留過量的機械雜質(zhì)而影響其正常工作，則可用反沖洗的方法來進行清洗。因其使用的范圍不同而分為純化水、注射i用水及滅菌注i射用水，首i次將過去的蒸餾水改為純化水，并且對純化水具體定義為“純化水為采用蒸餾法、離子交換法、反滲透法或其它適宜的方法制得供藥i用的水。

超純水處理設(shè)備的工藝流程大致分成以下幾種

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床（復(fù)床）→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點

2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床（復(fù)床）→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點

3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子（EDI）設(shè)備進行搭配的的方式，這是一種制取超純水的i新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に?，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子（EDI）→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點 三種制備工業(yè)用超純水的工藝比較目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。同時，吸附于活性炭表面的氯(次酸)在炭表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，被還原成氯離子，從而有效，確保出水余氯量小于0。

優(yōu)缺點:

1、種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少，占用的地方少，但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。

2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但離子設(shè)備再生周期相對要長，耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。

3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經(jīng)i濟，環(huán)保用來制取超純水的工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水，對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。