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伺服機構伺服機構分為開環(huán)、半閉環(huán)和閉環(huán)三種類型。開環(huán)伺服機構是由步進電機驅動線路,和步進電機組成。每一脈沖信號使步進電機轉動一定的角度,通過滾珠絲杠推動工作臺移動一定的距離。這種伺服機構比較簡單,工作穩(wěn)定,容易掌握使用,但精度和速度的提高受到限制。半閉環(huán)伺服機構是由比較線路、伺服放大線路、伺服馬達、速度檢測器和位置檢測器組成。位置檢測器裝在絲杠或伺服馬達的端部,利用絲杠的回轉角度間接測出工作臺的位置。常用的伺服馬達有寬調速直流電動機、寬調速交流電動機和電液伺服馬達。
位置檢測器有旋轉變壓器、光電式脈沖發(fā)生器和圓光柵等。這種伺服機構所能達到的精度、速度和動態(tài)特性優(yōu)于開環(huán)伺服機構,為大多數中小型數控機床所采用。閉環(huán)伺服機構的工作原理和組成與半閉環(huán)伺服機構相同,只是位置檢測器安裝在工作臺上,可直接測出工作臺的實際位置,故反饋精度高于半閉環(huán)控制,但掌握調試的難度較大,常用于和大型數控機床。