潔凈度級別為6~9級的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內(nèi)空氣的流動要有一定速度，才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動、噪聲、照度等各項指標(biāo)。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價。一般潔凈度級別高于5級的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價也。

 不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價。一般潔凈度級別高于5級的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價也。流速太大將使室內(nèi)積塵飛揚，造成污染。系統(tǒng)的氣密性不僅通風(fēng)系統(tǒng)本身要求氣密性好，對建筑各部結(jié)合處、水暖電工藝管穿越圍護結(jié)構(gòu)處也應(yīng)堵嚴(yán)，防止?jié)B漏。控制該空間的溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電。

 純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運行管理包括：實時檢測，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求?？諝鈨艋环矫媸撬腿霛崈艨諝鈱κ覂?nèi)污染空氣進行稀釋，另一方面是迅速排出室內(nèi)濃度高的污染空氣。這些污染物很容易就會對無塵車間的衛(wèi)生造成影響。在進入無塵車間的時候，應(yīng)該要先進行風(fēng)淋。在工作的時候，包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都應(yīng)該使用毛發(fā)護具來全部地遮蓋住。