真空PVD鍍膜基本步驟 

 前處理工藝褪膜、噴砂、拋光、鈍化、清洗、裝夾 鍍膜工藝抽真空、加熱烘烤、漏率測(cè)試、轟擊清洗、鍍膜、冷卻出爐 后處理工藝 

清洗：確保鍍膜前產(chǎn)品表面的清潔，越新鮮的表面，越能保證鍍膜質(zhì)量；

抽真空：將真空室內(nèi)的殘余氣體抽走加熱烘烤：爐體和工件同時(shí)加熱，加速殘余氣體的釋放壓升率測(cè)試：測(cè)試爐體的漏氣率和放氣率轟擊清洗：去除工件表面的雜志，露出新鮮表面鍍膜：沉積膜層冷卻：避免工件氧化變色

 釹鐵硼稀土磁性材料是一種問(wèn)世不久的新型強(qiáng)磁材料。近年來(lái)在小型馬達(dá)、汽車電子，工具、揚(yáng)聲器、電力工具等方面應(yīng)用發(fā)展很快。當(dāng)前，在我國(guó)使用的鍍膜玻璃主要有以下幾種方式生產(chǎn)：1．電子槍蒸發(fā)鍍膜機(jī)：利用熱蒸發(fā)器的真空鍍膜機(jī)生產(chǎn)鍍膜玻璃，因整體生產(chǎn)是斷續(xù)進(jìn)行的，清洗后的部分玻璃常常需在車間中等待一段時(shí)間后方可進(jìn)行鍍膜室鍍膜。但釹鐵硼稀土磁性材料弱點(diǎn)是容易被空氣中的水分及氧氣所腐蝕，因此必須有一個(gè)安全可靠的防護(hù)涂層釹鐵硼稀土磁性材料才有使用價(jià)值。目前國(guó)內(nèi)常用兩種方法進(jìn)行防護(hù)，一種是傳統(tǒng)的電鍍工藝在 鐵硼磁性材料表面鍍上鎳、鋅或錫、金等。這些涂層有時(shí)會(huì)影響磁性材料的表磁等特性，有的在鹽霧試驗(yàn)時(shí)仍不能對(duì)釹鐵硼磁性材料提供有效的防護(hù)。另一種方法是用環(huán)氧樹(shù)脂材料進(jìn)行電泳涂敷，但電泳涂敷時(shí)工件表面必須有一掛點(diǎn)，掛點(diǎn)的修補(bǔ)不僅費(fèi)工費(fèi)時(shí)，而且質(zhì)量難以保證，而Parylene涂層技術(shù)可控制涂層厚度進(jìn)行無(wú)支點(diǎn)全涂敷防護(hù)。Parylene又是一種透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，Parylene涂敷稀土磁性材料的技術(shù)和產(chǎn)品，目前國(guó)外小型釹鐵硼稀土磁性材料都已采用Parylene進(jìn)行防護(hù)。

? 微電子、半導(dǎo)體：使用高純的Parylene作鈍化層和介質(zhì)層，能提供安全、穩(wěn)定的防護(hù)。

?傳感器和換能器：自動(dòng)化控制和惡劣環(huán)境下使用的傳感器、換能器， Parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和可靠性，涂層無(wú)，且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種惡劣環(huán)境。 

?Parylene適用于微機(jī)電(MEMS)、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)

*能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工；

*與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性；

* 在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能；

*對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性