濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件

濕度控制是無塵車間生產(chǎn)必需具備的重要條件，相對濕度是無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。 近年，在這些規(guī)定范圍中保持處理空氣過程,天津凈化工程為大家介紹一下相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現(xiàn)下降的因素，其中包括： 1、細(xì)菌生長; 2、工作人員感到室溫舒適的范圍; 3、出現(xiàn)靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

技術(shù)豎井如果說技術(shù)夾道(墻)往往不越層,則需要越層時即用技術(shù)

技術(shù)豎井 如果說技術(shù)夾道（墻）往往不越層，則需要越層時即用技術(shù)豎井，并且經(jīng)常作為建筑結(jié)構(gòu)的一部分，具有性。 由于技術(shù)豎井把各層起來，為了防火，內(nèi)部管線安裝完成后，要在層間用耐火極限不低于樓板的材料封閉，檢修工作分層進(jìn)行，檢修門必須設(shè)防火門。 不論技術(shù)夾層、技術(shù)夾道還是技術(shù)豎井，當(dāng)直接兼作風(fēng)道時，其內(nèi)表面必須按潔凈室的內(nèi)表面的要求處理。 機(jī)房位置 空調(diào)機(jī)房靠近要求送風(fēng)量大的潔凈室，力求風(fēng)管的線路。但從防止噪聲和振動來說又要求把潔凈室與機(jī)房隔開。

凈化車間的這些常用設(shè)備也必須要了解

1、10萬級凈化車間工作人員和進(jìn)入潔凈室內(nèi)需先經(jīng)過緩沖間/風(fēng)淋室，物品只能從傳遞窗進(jìn)入。

2、進(jìn)入10萬級凈化車間工程區(qū)之前先進(jìn)入緩沖區(qū)，緩沖區(qū)門安裝電子互鎖，更衣處放置潔凈儲衣柜，空氣清新機(jī)。

3、在10萬級凈化車間工程局部需要達(dá)到10-1000級地方安裝垂直層流工作臺，層流罩(FFU)，潔凈棚(可移式凈化工作棚)，自凈器。測潔凈室潔凈度用激光塵埃粒子計數(shù)器。

4、10萬級凈化車間工程進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)要安裝：新風(fēng)過濾箱，中央凈化空調(diào)(中央凈化空調(diào)要分為初效/中效/三個過濾段)末端有送風(fēng)口，有必要時還裝有凈化增壓箱。

5、10萬級凈化車間回風(fēng)系統(tǒng)要安裝：回風(fēng)口，過濾初效器，中效回風(fēng)箱。 以上是建設(shè)10萬級凈化車間所需要的設(shè)備，凈化車間潔凈度的維護(hù)離不開這些設(shè)備，具體的還需要根據(jù)實際情況。