潔凈度級(jí)別為6~9級(jí)的潔凈室則采用非單向流的氣流組織。流速控制潔凈室內(nèi)空氣的流動(dòng)要有一定速度，才能防止其他因素(如熱流)的擾亂。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度，以及溫濕度、微震動(dòng)、噪聲、照度等各項(xiàng)指標(biāo)。不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價(jià)。一般潔凈度級(jí)別高于5級(jí)的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價(jià)也。

 不同的氣流組織直接影響施工的難易程度及工程造價(jià)。一般潔凈度級(jí)別高于5級(jí)的潔凈室均采用單向流，其中以垂直單向流，但造價(jià)也。流速太大將使室內(nèi)積塵飛揚(yáng)，造成污染。系統(tǒng)的氣密性不僅通風(fēng)系統(tǒng)本身要求氣密性好，對(duì)建筑各部結(jié)合處、水暖電工藝管穿越圍護(hù)結(jié)構(gòu)處也應(yīng)堵嚴(yán)，防止?jié)B漏?？刂圃摽臻g的溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電。

 純水、特氣、物料供應(yīng)系統(tǒng)；廢氣、廢水處理系統(tǒng)及相關(guān)設(shè)施。運(yùn)行管理包括：實(shí)時(shí)檢測(cè)，人員培訓(xùn)，設(shè)備維護(hù)，以保證受控的生產(chǎn)科研環(huán)境持續(xù)符合要求。空氣凈化一方面是送入潔凈空氣對(duì)室內(nèi)污染空氣進(jìn)行稀釋，另一方面是迅速排出室內(nèi)濃度高的污染空氣。這些污染物很容易就會(huì)對(duì)無塵車間的衛(wèi)生造成影響。在進(jìn)入無塵車間的時(shí)候，應(yīng)該要先進(jìn)行風(fēng)淋。在工作的時(shí)候，包括胡須在內(nèi)的所有毛發(fā)，都應(yīng)該使用毛發(fā)護(hù)具來全部地遮蓋住。