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鍍鈦廠家依據(jù)技術(shù)請(qǐng)求挑選鍍制方法及方法,如電阻蒸騰(鎢絲、鉬舟、石墨舟)磁控源(同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等)以靶材原料及尺度多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等),真空丈量可挑選數(shù)字式智能真空計(jì)及其優(yōu)異的丈量規(guī)管,及其它丈量?jī)x器,如主動(dòng)壓強(qiáng)操控儀等。膜厚丈量可選用方塊電阻丈量?jī)x,透過率計(jì)等。充氣方法可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì) 針閥及相應(yīng)的充氣閥門,并可挑選多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。真空鍍鈦廠家依據(jù)需烘烤的構(gòu)造提出烘烤溫度、原料以及所需裝備相應(yīng)儀表丈量。真空鍍鈦廠家依據(jù)設(shè)備使用特色,可挑選手動(dòng)、半主動(dòng)、全主動(dòng)或其組合的操控方法。完善的報(bào)警體系,對(duì)真空室體、分散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過壓、過流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警