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隨著科學(xué)技能的發(fā)展,工業(yè)產(chǎn)品的更新?lián)Q代很快,人們對(duì)生活質(zhì)量要求也越來越高,工業(yè)潔凈室凈化工程、生物潔凈室凈化工程的建造一日千里,因此潔凈室凈化工程規(guī)劃自身便具有高新技能、技能密集和資金密集的特點(diǎn),為了進(jìn)步潔凈室凈化工程建成后的技能經(jīng)濟(jì)效益,在進(jìn)行潔凈室凈化工程規(guī)劃時(shí)應(yīng)設(shè)法盡可能地考慮一定的靈活性,以便使建成后的潔凈室凈化工程能跟著科學(xué)技能的發(fā)展能夠隨便地進(jìn)行技能改造,適應(yīng)產(chǎn)品換代或設(shè)備更新的要求。
潔凈室凈化工程檢測點(diǎn)的安置:依據(jù)中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)則:在對(duì)凈化車間進(jìn)行潔凈度檢測時(shí),檢測點(diǎn)應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面內(nèi);關(guān)于單向流型凈化車間測點(diǎn)總數(shù)應(yīng)不小于20點(diǎn),測點(diǎn)間距為0.5-2.0m。水平單向流測點(diǎn)僅安置在一凈化車間工作區(qū)內(nèi);非單向流凈化車間按凈化車間面積小于或等于50m2安置5個(gè)測點(diǎn)。
我國的潔凈室工程開始于20世紀(jì)60年代初,在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的規(guī)劃、建造開展很快,相繼建成一批潔凈廠房,并研制成功100級(jí)單向流潔凈室;與此同時(shí),潔凈廠房用設(shè)備和資料,如過濾器,潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淵室、凈化型傳遞窗等相繼研制成功,并投入出產(chǎn),雖然制作質(zhì)量和某些工程指標(biāo)與世界水平尚有差距,但已能滿足國內(nèi)部分需求,到20世紀(jì)70年代末我國潔凈室規(guī) 劃、建造和潔凈工程的開展走向成熟階段。