微粒大小的量度通常以粒徑表示。直接減少向大氣的廢熱排放量，尤其對于南方地區(qū)具有良好的經(jīng)濟性。但是微粒特別是灰塵粒子并不都具有球形、立方形等規(guī)則的幾何外形，因此通常所稱微粒的“粒徑”，并不是指真正球體的直徑。在氣溶膠及空氣潔凈技術(shù)中，“粒徑”的意義通常是指通過微粒內(nèi)部的某個長度因次，而并不含有規(guī)則幾何形狀的意義。在分析微粒大小的時候，“粒徑”就是指的這種含意。 具體地說，粒徑可分為兩大類： 一類是按微粒幾何性質(zhì)直接進行測定和定義的，如顯微鏡法確定的粒徑。例如，在灰塵采樣以后，普通光學(xué)顯微鏡來觀測時，使灰塵標(biāo)本向一個方向移動通過測微尺，此時微粒投影通過這一標(biāo)尺時，為標(biāo)尺刻度線所切的兩端的長度就代表粒徑。

無塵室設(shè)計及工作環(huán)境的介紹

  無塵室，也稱潔凈室，是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學(xué)揮發(fā)性氣體。專用凈化空調(diào)機組國內(nèi)無定型產(chǎn)品，多數(shù)由凈化設(shè)備廠從空調(diào)器生產(chǎn)廠購進壓縮機、蒸發(fā)排管、冷凝器等散件，另配風(fēng)壓較高、風(fēng)量較大的風(fēng)機及各級過濾器，重新設(shè)計箱體加工而成。更準(zhǔn)確地講，一個潔凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用1大顆粒大小來厘定的。低級別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。

   無塵室的定義：空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子等污染物排除，而得到一個相當(dāng)潔凈的環(huán)境。麗研究微粒的光散射性質(zhì)時宜用平均面積直徑Ds或平均體積直徑Dv，因為光散射量在不同的粒徑范圍內(nèi)，可能與微粒面積或者微粒體積有關(guān)。亦即：這個環(huán)境中的微塵粒子相當(dāng)少，稱之為潔凈室。潔凈室被廣泛地應(yīng)用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導(dǎo)體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，潔凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

   無塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣，連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端，潔凈室內(nèi)的制造區(qū)。對于表中所列平均粒徑名稱要注意的是，在文獻(xiàn)中常出現(xiàn)互相顛倒的稱呼，例如此處稱“平均面積直徑”，而彼處則稱“面積平均直徑”，所以只有知道其表達(dá)式才能弄清準(zhǔn)確意義。以下由立凈簡單介紹潔凈室的處理流程：外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱初步過濾微塵并控制其溫濕度后，經(jīng)由回風(fēng)管道間，將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補充風(fēng)量混合，經(jīng)由冷卻盤管將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格，通過循環(huán)風(fēng)扇或FFU帶動潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量，后經(jīng)過超過濾網(wǎng)或過濾后，供應(yīng)至Fab區(qū)。

   在產(chǎn)品生產(chǎn)工藝提供者的密切配合下，準(zhǔn)確地確定潔凈室需設(shè)排風(fēng)裝置的房間或工序或生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量，這是由于潔凈室內(nèi)排風(fēng)量的增加，即意味著凈化空調(diào)系統(tǒng)的補充新風(fēng)量的增加。(2)潔凈度測試：分為空態(tài)條件下測試、靜態(tài)條件下測試、動態(tài)條件下測試，分別測試潔凈室內(nèi)粉塵的含量。在潔凈廠房設(shè)計中有時會出現(xiàn)由于排風(fēng)量的增加使凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)量大于規(guī)定的新鮮空氣需用量，從而使設(shè)計的熱（冷）負(fù)荷增加，因此，準(zhǔn)確地確定潔凈室內(nèi)排風(fēng)量是降低能量消耗的重要技術(shù)措施之一。