潔凈室中的氣流速度規(guī)定這里要討論的氣流速度是指潔凈室內(nèi)的氣流速度，在其他潔凈空間中的氣流速度在討論具體設(shè)備時再說明。凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。對于亂流潔凈室 由于主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對室內(nèi)氣流速度也有如下要求；(1)送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。(2)吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。

局部照明這是為增加某一地點（如工作點）的照度而設(shè)置的照明。亂流潔凈室亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。但在室內(nèi)照明由一般不單獨使用局部照明。(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。 單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。

復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。(1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。對于干蒸汽加濕器也要注意蒸汽管和凝結(jié)水管的坡度和坡向問題，要使凝結(jié)水迅速地排到空調(diào)器外。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。

為確保潔凈室凈化工程內(nèi)所必須的空氣潔凈度，潔凈室凈化工程設(shè)計中涉及到的各個專業(yè)設(shè)計均應(yīng)采取妥善的、可靠的技術(shù)措施，以減少或防止室內(nèi)產(chǎn)塵、滋生微生物，減少或阻止將微粒微生物或可能會造成交叉污染的物料帶人潔凈室凈化工程內(nèi)，有效地將室內(nèi)的微粒微生物排出，以減少或防止它們滯留潔凈室凈化工程內(nèi)。潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn)，目的在于保障操作正常進(jìn)行，滿足必要的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。對于因塵粒脆生物或物料的交叉污染會危害產(chǎn)品雨量或人身安全時．還應(yīng)采取安全、可靠的技術(shù)措施防讓交叉污染，如嚴(yán)格控制不同用選的潔凈室凈化工程之間的靜壓差，按要求合理地劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)以及回風(fēng)系統(tǒng)的妥善設(shè)計等。