無塵車間凈化技術的設備發(fā)展

　　美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設備和技術在近幾年中得到廣泛采用。該項新的無塵車間潔凈技術在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設備局部使用隔離技術的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高ji別的微環(huán)境，無塵車間消除了操作者與工藝設備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。我們要做好組合式空調(diào)機組所有接縫處的密封處理，表冷器凝結水管上設水封，保證空調(diào)不漏風。

移動式層流小車

①主體框架采用304不銹鋼，工作區(qū)三面PC板一面可開啟門，美觀整潔，易于清潔消毒;

②采用可調(diào)風量的風機系統(tǒng)，通過調(diào)節(jié)風機的工況，保證潔凈工作區(qū)的風速在額定范圍內(nèi);

③氣流流形為垂直流，空氣自上而下，在工作區(qū)與PC板之間形成空氣保護，并與外部形成正壓差，保證工作區(qū)的潔凈度。

④設有報警系統(tǒng)，風機非正常狀態(tài)停機，將自動報警。