純凈的SF6氣體雖然無毒，但在工作場(chǎng)所要防止SF6氣體的濃度上升到缺氧的水平。SF6氣體的密度大約是空氣的五倍、SF6氣體如有泄漏必將沉積于低洼處，如電纜溝中。濃度過大會(huì)出現(xiàn)使人窒息的危險(xiǎn)，設(shè)計(jì)戶內(nèi)通風(fēng)裝置時(shí)要考慮到這一情況。

高壓擊穿技術(shù)。

Dian擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。其工作原理是根據(jù)SF6氣體絕緣的特性，從置于被檢測(cè)空氣中的高壓電極間Dian壓的變化來判斷空氣中是否含有SF6氣體。當(dāng)出現(xiàn)SF6氣體含量增i高或超過標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，應(yīng)隨即對(duì)部件進(jìn)行詳細(xì)檢查，查找原因并予以消除。因其結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，成本低，檢測(cè)精度相對(duì)高的特點(diǎn)。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長(zhǎng)設(shè)備壽命。近幾年，國(guó)家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌?chǎng)機(jī)遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國(guó)內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價(jià)的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時(shí)，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，2010年我國(guó)將成為僅次于美國(guó)的世界第二大集成電路市場(chǎng)，總需求量約為500億美元。目前國(guó)內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計(jì)。2016年將達(dá)到700噸左右，

 國(guó)內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計(jì)將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫?yàn)?00噸左右。面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質(zhì)中，危害可不少。而國(guó)內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足市場(chǎng)需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進(jìn)口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機(jī)遇。

        六氟化硫氣體中i毒很嚴(yán)重么？一旦六氟化硫氣體遇到高熱、高溫（如：電?。?，會(huì)產(chǎn)生出副產(chǎn)物—氧化硫和氟化氫氣體，它們與未分解的六氟化硫氣體共存。此時(shí)就有三種毒氣存在。氧化硫是一種硫i酸酐，易被人體濕潤(rùn)的粘膜表面吸收生成硫酸和亞硫酸，對(duì)眼和呼吸道粘膜有強(qiáng)烈的刺激作用。具體表現(xiàn)為流淚、咳嗽、喉灼痛、眼結(jié)膜及呼吸道刺痛等癥狀。遇到人體的汗液，會(huì)使人的皮膚紅i腫。Dian擊穿技術(shù)是從SF6在電力上的典型應(yīng)用——作為絕緣氣體應(yīng)用在GIS開關(guān)柜中演變而來的。氟化氫，易溶于水。同樣易被人體濕潤(rùn)的粘膜表面吸收而生成氫i氟酸，它對(duì)人體的危害同氧化硫一樣——是眼和呼吸道，但危害更大。氫i氟酸常被用于刻蝕玻璃，可見它的腐蝕性極大。若遇到人的汗液，在人的皮膚表面形成氫i氟酸，它能穿透i皮膚表面向深層滲透，形成潰瘍和壞死，且不宜治i愈。若骨骼損害引起氟骨病，將無法復(fù)原。氟化氫的毒性比之氧化硫和六氟化硫有過之而無不及。

六氟化硫防護(hù)之工作人員防護(hù)措施：

      在有六氟化硫設(shè)備的工作場(chǎng)所，有關(guān)人員應(yīng)該穿著專業(yè)的SF6防護(hù)服以及手套和工作鞋。六氟化硫防護(hù)服采用特殊的材料制成，具有耐磨、柔韌性好的特點(diǎn)，不會(huì)影響人員活動(dòng)自由，此外還能保護(hù)人體遠(yuǎn)離無機(jī)酸、堿以及其它有毒有害分解物。如果在密閉空間內(nèi)或者狹小的環(huán)境以及可能存在SF6泄i露的環(huán)境，使用防護(hù)面罩也屬于六氟化硫防護(hù)的內(nèi)容。如果六氟化硫氣體中含有超過規(guī)定的水分，當(dāng)其濕度發(fā)生變化時(shí)，就可能凝結(jié)在固體絕緣表面使該面變潮，這時(shí)設(shè)備的沿面放電電壓將顯著下降。在對(duì)SF6電氣設(shè)備進(jìn)行更換新的SF6氣體或者是檢漏、檢修、安裝維護(hù)的時(shí)候，為了避免吸入六氟化硫，減少中i毒的可能性，配帶專業(yè)的面罩和呼吸器很有必要！面部皮膚和眼睛如果直接暴露在氫i氟酸、二氧化硫等物質(zhì)中，危害可不少。由于有些有毒物質(zhì)是氣態(tài)存在的，呼吸時(shí)有可能進(jìn)入體內(nèi)，所以六氟化硫防護(hù)需要使用過濾器。這個(gè)過濾器就像防毒面具的過濾裝置一樣，裝有活性炭和其它分子復(fù)合附劑，過濾掉氫i氟酸、二氧化碳、氟化硫醯、十氟化二硫一氧，粉塵等，保護(hù)人員安全。