凈化車間重要的空氣凈化系統(tǒng)，凈化系統(tǒng)可以保證車間內(nèi)的潔凈度，讓車間處在一個無菌的環(huán)境中，但是在生產(chǎn)過程中需要打開空氣凈化系統(tǒng)，每天較長時間的系統(tǒng)運行中會消耗很多能源，這個時候就要考慮到節(jié)能問題，盡量減少耗能量，不同的區(qū)域要系統(tǒng)化的劃分，計算好車間的溫度、潔凈度，提供合適的送風量，根據(jù)潔凈的等級決定換氣次數(shù)。避免從風管將空氣溫度降低，風管要注意保溫性。還需要注意空氣凈化系統(tǒng)的密閉性，避免從接口泄漏，注意連接方式的密閉性。空調(diào)箱、冷水機組、風機等設(shè)備選擇都很能源消耗有重要關(guān)系。

凈化工程位置應該如何選擇？一、應在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域。二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域。如不能遠離嚴重空氣污染源時，則應位于其頻率風向上風側(cè)，或全年小頻率風向下風側(cè)。三、應布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔、ren流貨流不穿越或少穿越的地段。

無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列基本原則：不攜入,在無塵室內(nèi)不攜入微粒子的方法有：1）作業(yè)員進入無塵室前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理； 2）進入無塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入無塵室。 4）機器及材料帶進無塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進無塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風淋室吹淋后才進入無塵室。5）無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工技術(shù)請求來斷定，在滿意加工技術(shù)的條件下，必選應當思考人的舒適感。隨著空氣潔凈度請求的進步，技術(shù)對溫濕度的請求也越來越高，有必要到達必定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光技術(shù)中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就導致了0.24um線性膨脹，所以有必要有±0.1度的恒溫，一起請求濕度值通常較低，因為人出汗今后，對商品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超越25度。