電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)各部件介紹

1、烘烤照明系統(tǒng)1套。烘烤溫度：室溫-150℃。（在10-4Pa時(shí)，真空室內(nèi)殘余氣體的組合，水蒸汽約占 90%以上，因此在該壓強(qiáng)下進(jìn)行蒸鍍，實(shí)際上相當(dāng)于在水蒸汽中制膜，為了減少水份，提高真空室溫，使水分解，是提高膜層質(zhì)量的一種可行辦法）。

2、電控柜：標(biāo)準(zhǔn)電控柜，組裝總控制電源、真空系統(tǒng)控制（分子泵、機(jī)械泵電源、擋板等）、數(shù)顯真空計(jì)等。柜底下配腳輪，方便移動(dòng)、定位。

3、手動(dòng)按鈕式操作，備留機(jī)電轉(zhuǎn)換及控制接口，方便實(shí)驗(yàn)記錄.

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電子束鍍膜機(jī)介紹

* 帶旋轉(zhuǎn)的傾斜沉積

* 行星式基片夾具

* 基片RF/DC偏壓

* 基片清洗的離子源以及離子輔助蒸鍍

* 附加物理沉積源（熱蒸鍍，磁控濺射）

* 用于反應(yīng)蒸鍍的MFC

* 不同的泵組選擇，可升級(jí)分子泵為冷泵，前級(jí)泵為干泵

* 進(jìn)樣室和自動(dòng)上下片/可支持單片和25片片夾

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雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專門的控制柜，對(duì)燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會(huì)發(fā)熱，然后會(huì)發(fā)射電子，再采用一定的磁場(chǎng)將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動(dòng)，然后遇到基板，就凝結(jié)下來(lái)，經(jīng)過(guò)這種方式生長(zhǎng)，形成薄膜！它是在高真空條件下，通過(guò)加熱材料的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，在襯底上沉積各種金屬或合金電極并形成器件。

常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

期望大家在選購(gòu)電子束時(shí)多一份細(xì)心，少一份浮躁，不要錯(cuò)過(guò)細(xì)節(jié)疑問(wèn)。想要了解更多電子束的相關(guān)資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話?。?！