實驗室凈化車間對濕度的控制有哪些要求【山西東勝科星實驗室設備有限公司】

濕度控制是凈化車間生產必需具備的重要條件，相對濕度是凈化車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導體凈化車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。