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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。我公司的主要產(chǎn)品有:2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī):W、WY、WLW系列往復(fù)式真空泵旋片式2X系列、2XZ系列、XD單級旋片系列、水環(huán)式真空泵等。
了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸汽,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇水環(huán)真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
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擴(kuò)散
氣體由于濃度梯度而在另一種介質(zhì)中的運(yùn)動稱為擴(kuò)散。介質(zhì)可以是另一種氣體(這種情況下的擴(kuò)散稱之為互擴(kuò)散)或者是可凝聚物質(zhì)。
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定期清洗真空泵及其他附件、過濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時,抽取介質(zhì)過程中經(jīng)過反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險性也更大。所以需要及時的清洗,并在必要的時候設(shè)置過濾設(shè)備。
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加壓條件下容器漏率的測定
在加壓條件下測童容器漏率的方法有:氣泡法、超聲法、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀法、氨檢漏法、鹵素檢漏儀法、氮質(zhì)譜檢漏儀法等。
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