潔凈凈化技術(shù)之凈化車(chē)間的微振控制方案

對(duì)于微振控制要求的潔凈廠房在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)該考慮哪些問(wèn)題呢？

1.       在結(jié)構(gòu)選型，隔振縫設(shè)置，壁板與地面級(jí)頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。

2.       潔凈室與周?chē)o助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈震動(dòng)的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。

3.       應(yīng)確定潔凈廠房?jī)?nèi)各類(lèi)振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備，精密儀器儀表位置處的綜合震動(dòng)影響，以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。

另外在凈化車(chē)間的結(jié)構(gòu)材料上應(yīng)具備以下幾點(diǎn) ：

　?、賰艋瘡S房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門(mén)、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造

　?、诘孛婵刹捎铆h(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，可選用防靜電型

　?、鬯突仫L(fēng)管道用熱渡鋅板制成，貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板

      ④送風(fēng)口宜用不銹鋼框架，美觀清潔，沖孔網(wǎng)板用不銹鋼框架（或者冷板烤漆），不生銹不粘塵，宜清潔。

凈化車(chē)間施工的注意事項(xiàng)

　　一、制定凈化車(chē)間施工程序表

　　建設(shè)凈化車(chē)間有先后的順序，杜絕哪部分材料先到就先施工哪部分的極端錯(cuò)誤做法，避免污染。允許同時(shí)施工的各部分要注意彼此間的銜接關(guān)系，必要時(shí)應(yīng)繪制施工二次設(shè)計(jì)圖。

　　二、過(guò)濾器的安裝

　　凈化車(chē)間安裝過(guò)濾器之前，應(yīng)徹底做好清潔工作，凈化送、回風(fēng)系統(tǒng)連接試運(yùn)行24小時(shí)后，再次清潔潔凈室后，立即安裝過(guò)濾器。

　　潔凈送、回風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管的施工：風(fēng)管內(nèi)表面必須平整光滑，風(fēng)管安裝之后、保溫之前應(yīng)進(jìn)行漏風(fēng)檢查。風(fēng)管與部件支、吊架的預(yù)埋件或膨脹螺栓的位置應(yīng)正確，牢固可靠，埋入部分應(yīng)去除油污，并不得涂漆。

　　三、設(shè)置專用倉(cāng)儲(chǔ)間

　　所有材料和設(shè)備說(shuō)明書(shū)和合格證均應(yīng)妥善保管，以便竣工驗(yàn)收后將資料完整的移交給用戶。設(shè)備和材料到達(dá)凈化車(chē)間施工現(xiàn)場(chǎng)時(shí)，應(yīng)嚴(yán)格檢查，各種過(guò)程器開(kāi)箱檢查后應(yīng)重新封存。

無(wú)塵室的消防安全要求如下：

      1、潔凈室應(yīng)進(jìn)行專門(mén)設(shè)計(jì)，其主體建筑應(yīng)為一、二級(jí)耐火等級(jí)；吊頂、分隔墻等構(gòu)配件及保溫、隔熱、裝飾材料，應(yīng)盡量采用不燃材料或經(jīng)過(guò)防火處理的材料。

      2、潔凈廠房的排風(fēng)系統(tǒng)。應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L(fēng)管穿過(guò)樓板和風(fēng)管穿過(guò)防火墻處，必須設(shè)置防火閥。

      3、有、物品的無(wú)塵室、電氣要符合防爆要求；電氣敷設(shè)和安裝要從嚴(yán)要求，暗敷的電線當(dāng)中不得有接頭。對(duì)電氣設(shè)備要經(jīng)常維修，用后及時(shí)切斷電源。對(duì)需要長(zhǎng)開(kāi)的電氣設(shè)備，下班后應(yīng)有專人巡邏檢查。

      4、為防止起火和燃燒，便利疏散與搶救，對(duì)防火墻間蕞大允許占地面積和防火分隔以及疏散路線等，一般應(yīng)比其他建筑有更高的要求。出入口或拐彎處應(yīng)有緊急照明燈。

      5、其他建筑改建為潔凈室的，也應(yīng)進(jìn)行專門(mén)設(shè)計(jì)，并經(jīng)消防部門(mén)審核。一般不得破壞原來(lái)的防火分隔，新用的保溫、隔熱、分隔等材料及裝飾材料盡量不要采用可燃材料，如要使用的，應(yīng)經(jīng)過(guò)防火處理。

      6、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)不得使用明火加熱，采用電加熱的必須密閉，并嚴(yán)格控制加熱溫度。各種加熱裝置均應(yīng)安裝在不燃基座上。

      7、使用液體和氣體的無(wú)塵室，應(yīng)安裝排風(fēng)設(shè)備，操作臺(tái)應(yīng)有獨(dú)立的排風(fēng)裝置。液體蒸氣和氣體的尾氣管應(yīng)與排風(fēng)系統(tǒng)分開(kāi)。

無(wú)塵室（潔凈室）怎樣定期清潔維護(hù)呢？

   在講到清潔維護(hù)的重要性之前，我們先在認(rèn)識(shí)一下潔凈室中的四大污染來(lái)源：

   1、潔凈室中的設(shè)施，例如地面、墻面、天花板等，一刻不停地?cái)U(kuò)散著粒子。

   2、潔凈室中的人員是污染的主要來(lái)源，潔凈室中的污染有80%都來(lái)自于人員散發(fā)的粒子。

   3、潔凈室中的產(chǎn)品也會(huì)向潔凈室空間擴(kuò)散粒子。

   4、潔凈室中的工具設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)的過(guò)程中會(huì)向潔凈室空間擴(kuò)散粒子。

   既然潔凈室有這么多污染來(lái)源，為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢？那是因?yàn)槲覀內(nèi)庋壑荒芸吹搅酱笥?0um的塵粒，需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。（如下圖所示）而對(duì)于許多精密制造業(yè)來(lái)說(shuō)，例如芯片制造業(yè)，任何大于0.1um的塵粒都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成危害。此時(shí)，就需要通過(guò)潔凈室和污染控制技術(shù)來(lái)達(dá)到合格的生產(chǎn)環(huán)境。