X射線測厚儀結構

一六 熒光測厚儀 十年以上研發(fā)團隊 集研發(fā)生產銷售一體

元素分析范圍:氯(CI)- 鈾(U)   厚度分析范圍:各種元素及有機物

一次可同時分析:23層鍍層,24種元素 厚度檢出限:0.005um

（一）、外部結構原理圖

X熒光做鍍層分析時，根據(jù)射線是至上而下照射樣品，還是至下而上照射樣品的方式，將X熒光分析儀的外部整體結構分為：上照射和下照射兩種結構。

（二）、各種外部結構的特點

1、上照射方式

   用于照射(激發(fā))的X射線是采用由上往下照射方式的設備稱為上照射儀器。此類設備的Z軸為可移動方式，用于確定射線照射光斑的焦點，確保測量的準確性。

①、Z軸的移動方式

   根據(jù)Z軸的移動方式，分為自動和手動兩類；

自動型的設備完全由程序與自動控制裝置實現(xiàn)，其光斑對焦的重現(xiàn)性與準確度都很高，而且使用非常簡便（一般是與圖像采集系統(tǒng)與控制系統(tǒng)相結合的方式），一般只需要用鼠標在圖像上點擊一下即可定位。2、采用微聚焦X射線管，油槽式設計，工作時采用油冷，長期使用時壽命更長。此類設備對于測試形狀各異的樣品非常方便，也是目前主流的分析設備類型。

   手動型設備，一般需要用人觀察圖像的方式，根據(jù)參考斑點的位置，手動上下調節(jié)Z軸方向，以達到準確對焦的目的。因此，往往在測試對象幾何結構基本上沒有變化的情況下使用比較快捷。

②、X、Y軸水平移動方式

水平移動方式一般分為：無X、Y軸移動裝置；手動X、Y軸移動裝置；電動X、Y軸移動裝置；全程控自動X、Y軸移動裝置。

這幾類的設備都是根據(jù)客戶實際需要而設計的，例如：使用無X、Y軸移動裝置的也很多，結構簡單，樣品水平移動完全靠手動移動，這種設備適合于樣品面積較大，定位比較容易的測試對象。  

一六儀器 專業(yè)測厚儀 多道脈沖分析采集,先進EFP算法  X射線熒光鍍層測厚儀

應用于電子元器件,LED和照明,家用電器,通訊,汽車電子領域.EFP算法結合精準定位決了各種大小異形多層多元素的涂鍍層厚度和成分分析的業(yè)界難題

常規(guī)鍍層厚度分析儀的原理

對材料表面保護、裝飾形成的覆蓋層，如涂層、鍍層、敷層、貼層、化學生成膜等，在有關國家和國際標準中稱為覆層（coating）。參考標準塊的有效或限定表面的任何位置的覆蓋層不能超過規(guī)定值的±5%。覆層厚度測量已成為加工工業(yè)、表面工程質量檢測的重要一環(huán)，是產品達到優(yōu)等質量標準的必備手段。為使產品國際化，我國出口商品和涉外項目中，對覆層厚度有了明確的要求。

覆層厚度的測量方法主要有：楔切法，光截法，電解法，厚度差測量法，稱重法，X射線熒光法，β射線反向散射法，電容法、磁性測量法及渦流測量法等。

     X射線熒光光譜測厚儀   X射線的產生  

X射線波長略大于0.5納米的被稱作軟X射線。波長短于0.1納米的叫做硬X射線。

產生X射線的簡單方法是用加速后的電子撞擊金屬靶。1mm的小孔準直器可以滿足微小測試點的需求高精度移動平臺可定位測試點，重復定位精度小于0。撞擊過程中，電子突然減速，其損失的動能(其中的1%)會以光子形式放出，形成X光光譜的連續(xù)部分，稱之為制動輻射。通過加大加速電壓，電子攜帶的能量增大，則有可能將金屬原子的內層電子撞出。于是內層形成空穴，外層電子躍遷回內層填補空穴，同時放出波長在0.1納米左右的光子。由于外層電子躍遷放出的能量是化的，所以放出的光子的波長也集中在某些部分，形成了X光譜中的特征線，此稱為特性輻射。

江蘇一六儀器        X射線熒光測厚儀工作原理    

     當原子受到X射線光子(原級X射線)或其他微觀粒子的激發(fā)使原子內層電子電離而出現(xiàn)空位，原子內層電子重新配位，較外層的電子躍遷到內層電子空位，并同時出次級X射線光子，此即X射線熒光。廣泛應用于電子元器件、LED和照明、家用電器、通訊、汽車電子、*工等制造領域。較外層電子躍遷到內層電子空位所釋放的能量等于兩電子能級的能量差，因此，X射線熒光的波長對不同元素是特征的，根據(jù)元素X射線熒光特征波長對元素做定性分析，根據(jù)元素釋放出來的熒光強度，來進行定量分析如元素厚度或含量分析。

   根據(jù)色散方式不同，X射線熒光分析儀相應分為X射線熒光光譜儀(波長色散)和X射線熒光能譜儀(能量色散)。激光輔助光自動對焦功能可變焦距控制功能和固定焦距控制功能7計算機系統(tǒng)配置IBM計算機:1。X射線熒光光譜儀主要由激發(fā)、色散、探測、記錄及數(shù)據(jù)處理等單元組成。激發(fā)單元的作用是產生初級X射線。它由高壓發(fā)生器和X光管組成。后者功率較大，用水和油同時冷卻。色散單元的作用是分出想要波長的X射線。它由樣品室、狹縫、測角儀、分析晶體等部分組成。通過測角器以1∶2速度轉動分析晶體和探測器，可在不同的布拉格角位置上測得不同波長的X射線而作元素的定性分析。探測器的作用是將X射線光子能量轉化為電能，常用的有蓋格計數(shù)管、正比計數(shù)管、閃爍計數(shù)管、半導體探測器等。記錄單元由放大器、脈沖幅度分析器、顯示部分組成。通過定標器的脈沖分析信號可以直接輸入計算機，進行聯(lián)機處理而得到被測元素的含量。