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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào)，經(jīng)放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù)，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。降低了軸行程的要求（典型情況下，加工中心的z軸和車床的x軸）。

測球材料

紅寶石

對(duì)于絕大多數(shù)測量場合來說，具有業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)和特性的測球材料中，紅寶石是已知硬的材料之一。

人造紅寶石是在2000 ℃下用Verneuil工藝方法燒結(jié)成的純度為99％的氧化鋁晶體（剛玉）。

然后將剛玉切割并逐漸加工為球體。紅寶石測球的表面極為光滑，具有極高的抗壓強(qiáng)度和很高的機(jī)械耐磨性能。

應(yīng)用球桿儀分析數(shù)控機(jī)床誤差

為進(jìn)行誤差計(jì)算和補(bǔ)償，必須辨識(shí)各個(gè)獨(dú)立的誤差參數(shù)。誤差辨識(shí)可采用單向誤差直接測量法或綜合誤差測量參數(shù)辨識(shí)方法。球桿儀就是一種綜合誤差參數(shù)測量有效的工具。