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真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用
真空鍍膜機冷卻配套冷水機的作用是維持真空鍍膜機器的溫度,使其工作達到、率控制溫度的目的。以前在沒冷水機的情況下,自然水和水塔散熱都不可避免地受到自然氣溫的影響,而且此方式控制是極不穩(wěn)定的。因此,可以說冷水機是真空鍍膜設備中非常重要的配套冷卻設備,因為冷水機直接關系到真空鍍膜機工作效果的好壞。
真空鍍膜機為什么要配套冷水機?
這個要從真空鍍膜工作原理查看:膜料在高溫下蒸發(fā)落在工件表面結晶。由于空氣對蒸發(fā)的膜料分子會產生阻力造成碰撞使結晶體變得粗糙無光,所以必須在高真空下才能使結晶體細密光亮,如果真空度不高結晶體就會失去光澤,結合力也很差。
冷水機設有制冷系統(tǒng)和冷卻水循環(huán)系統(tǒng),水溫在5℃~30℃范圍內調節(jié)控制,可以達到、率控制溫度的目的。其冷卻原理是:制冷系統(tǒng)將水冷卻,再由水泵將低溫冷卻水送入真空鍍膜機進行降溫,冷水機冷凍水將熱量帶走后溫度升高再回流到水箱,達到冷卻的作用。
什么是真空鍍膜技術?
所謂真空鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于真空室內,采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。
在真空條件下成膜有很多優(yōu)點:可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學反應(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進入薄膜中成為雜質的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。通常真空蒸鍍要求成膜室內壓力等于或低于10-2Pa,對于蒸發(fā)源與基板距離較遠和薄膜質量要求很高的場合,則要求壓力更低。
真空鍍膜機的真空室設計方法
真空鍍膜技術是在真空條件下采用物理或者化學方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術根據其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設備的一個主要組成部位,真空鍍膜設備真空室設計主要考慮的就是密封性和可靠性,結構必須要合理,真空設備的材料生產都是在真空室內進行的,材料對真空度的影響要小,設計不能馬虎,要注意一些問題。
使用磁控濺射的真空鍍膜機一般采用的是圓筒主體結構,結構上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強度,保證在外部和內部的作用力下不產生形狀的變化,厚度需要足夠。
焊接是真空室制造中的一道關鍵工序,保證焊接之后的真空室不會產生漏氣現象,須合理設計焊接結構,提高焊接質量,處在超高真空的內壁粗糙度要拋光使室外室內表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。
真空鍍膜機的全新發(fā)展真空泵與隔膜泵機械密封的安裝與使用
真空鍍膜機的發(fā)展相當迅速,隨著生產率的提高,生產費用大大降低,已經為真空鍍膜產品的普遍使用鋪平了道路。
以卷繞式真空鍍膜機為例,剛開發(fā)時可鍍的薄膜基材寬度是150mm,目前已達2253mm?;木硗驳拇缶韽绞?000mm,大卷繞速度750m/min。自動裝卸的半連續(xù)卷繞式真空鍍膜機鍍膜時間占整個周期的75%,輔助操作時間只占25%。隨著計測技術、控制技術的進步和電子計算機的應用,卷繞式真空鍍膜機正向著高度自動化和高度可靠性的方向發(fā)展。
真空鍍膜機真空鍍膜機能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2,可以在這個范圍內選擇,有的還可以鍍多層膜,滿足多種需要。日本專利提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。該裝置的真空室分為上室,左下室和右下室。蒸鍍時,兩組蒸發(fā)源蒸發(fā)的鍍膜材料分別沉積在塑料薄膜上,在塑料薄膜沒有蒸鍍的一側,裝上輝光放電發(fā)生器。發(fā)生器產生的輝光放電氣體能防止塑料薄膜起皺。使用這套裝置可以在極薄的塑料薄膜上鍍上無折皺的多層膜,用于制磁帶和薄膜太陽能電池等。