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百級無塵車間的環(huán)境對產(chǎn)品有哪些影響?
產(chǎn)質(zhì)量量,百級無塵車間內(nèi)的環(huán)境還會影響到產(chǎn)品的質(zhì)量,例如一些集成電路、精密儀表和微型電機等產(chǎn)品,假如被塵埃顆粒污染了,就會對產(chǎn)品本身構(gòu)成質(zhì)量不良,嚴峻的會直接導(dǎo)致產(chǎn)品無法運用,為了防止百級無塵車間的環(huán)境符合要求,就要常常進行檢測,防止百級無塵車間的潔凈度達不到,而產(chǎn)品卻照常批量出產(chǎn)出來的緊急情況。
半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求
半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求,為得到高純度的硅材料,原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān),而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個數(shù)有關(guān)。因此,集成電路的高速發(fā)展,不僅對空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求,而且也需進一步控制粒子數(shù);同時,對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。
凈化車間的管線十分復(fù)雜,所以對這些管線均選用蔭蔽組織方法。詳細蔭蔽組織方法有以下幾種。
技能夾層
(1)頂部技能夾層。在這種夾層內(nèi)通常因送、回風(fēng)管的斷面大,故作為夾層內(nèi)首先思考的目標。通常將其組織在夾層的上方,其下組織電氣管線。當這種夾層的底板可接受必定分量時,能夠在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。
(2)房間技能夾層。這種方法和只要頂部夾層比較,能夠削減夾層的布線與高度,能夠省去回風(fēng)管道回來上夾層所需的技能夾道。鄙人夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機動力設(shè)備配電等,某層凈化車間的上夾道能夠兼做上一層的下夾道。