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1>.一般石墨舟在運(yùn)行 100 至 120 次后就應(yīng)該對(duì)石墨舟進(jìn)行清洗,石墨舟清洗次數(shù)達(dá)到后,硅片會(huì)發(fā)紅。 這是因?yàn)橹凵系?SiN 會(huì)隨著運(yùn)行次數(shù)的增加而增加,影響舟的正常使用。
2>.在室溫條件下 (<40°C),將舟放入32升HF酸中,大約高過石墨舟1.5cm左右。
濃度是 10%, 腐蝕時(shí)間為 10-12小時(shí)。低濃度條件下,腐蝕槽會(huì)被產(chǎn)生的 SiN 顆粒污染,因此需要進(jìn)行定期的過濾維護(hù)。 濃度高于 10%會(huì)對(duì)操作人員造成危險(xiǎn)。其他部件應(yīng)該被分開放入腐蝕槽內(nèi)并且不可互相接觸,這樣 HF 酸就可以腐蝕到任何部位,這對(duì)于石墨連接塊而言更為重要。
干燥裝置:主要有遠(yuǎn)紅外加熱爐、真空烘干爐、烘粉盤、粉耙、勺子、漏斗等。
檢測(cè)設(shè)備:用于粉末粒度的檢測(cè);放大三十倍的顯微鏡;金相顯微鏡;天平;粉末化學(xué)成份的檢測(cè)一般是外送當(dāng)?shù)氐纳虣z局檢測(cè)。
包裝設(shè)備:主要有篩分機(jī)、打包機(jī)、混粉機(jī)、瓶裝氮?dú)?、(用于容易氧化的金屬粉末的保護(hù),一般是在放有容易氧化的金屬粉末的桶中,充入氮?dú)夂竺芊猓@樣可以在一定時(shí)間內(nèi)防止桶中的金屬氧化。)
1.選用發(fā)熱部紅熱均勻性好的石墨棒。棒的紅熱均勻性差會(huì)影響爐溫均勻及縮短棒的使用壽命。在使用過程中,棒的紅熱均勻性會(huì)逐漸變差,嚴(yán)重時(shí)造成斷棒。
2.石墨棒隨著使用溫度越高壽命為越短,尤其在棒的表面溫度超過1500°C以后,氧化速度加快,壽命縮短,使用中注意盡量不要讓石墨棒表面溫度過高。
3.石墨棒在空氣中被加熱后,表面形成致密的氧化硅膜,變成扛氧化的保護(hù)膜,起到延長(zhǎng)壽命的作用。間歇使用,隨著窯爐溫度的升降變化,會(huì)導(dǎo)致棒表面的保護(hù)膜破損,保護(hù)作用減弱,加快棒的電阻值變大。