由于空氣中氦氣，氦質(zhì)譜儀的本底電流及噪音也很少，因此可將示漏氦氣的信號(hào)盡量放大而不怕空氣的影響，這樣可以測(cè)出極為弱小的訊號(hào)，從而檢出的漏孔；由于氦氣是惰性氣體，具有分子小，質(zhì)量輕，擴(kuò)散快，穿透性強(qiáng)，響應(yīng)快且穩(wěn)定，加之不起化學(xué)作用，不污染工件，操作安全等特點(diǎn)，導(dǎo)致使用氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)（簡(jiǎn)稱(chēng)氦檢技術(shù)）日益受到重視而被廣泛應(yīng)用在空調(diào)兩器生產(chǎn)上。

檢漏技術(shù)的發(fā)展

檢漏技術(shù)在真空領(lǐng)域占有非常重要的地位，它關(guān)系到真空設(shè)備的各項(xiàng)真空指標(biāo)。如何快速地找到漏點(diǎn)，關(guān)系到企業(yè)的生產(chǎn)效率與經(jīng)營(yíng)成本。

檢漏技術(shù)是一門(mén)不斷發(fā)展、不斷完善的技術(shù)，多年來(lái)，人們創(chuàng)造了很多檢漏方法。

上世紀(jì)四十年代以前的技術(shù)非常簡(jiǎn)單，比如氣泡法、電離計(jì)法等。當(dāng)時(shí)，漏率高只能檢測(cè)到10^-7Pa·m^3/s。

后來(lái)，經(jīng)過(guò)不斷的完善與提高，在1950~1960年代，研制者朝著提高靈敏度的方向努力，使靈敏度一度達(dá)到了10^-15Pa·m^3/s。

然而實(shí)踐證明，單一追求高靈敏度并非合適，這會(huì)給檢漏儀的生產(chǎn)制造帶來(lái)一些麻煩。后來(lái)，人們將精力主要放在了儀器的穩(wěn)定性、可靠性、小型化、簡(jiǎn)單化、檢漏過(guò)程迅速化上面。

當(dāng)今常見(jiàn)的氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。較為先進(jìn)的檢漏儀壓力在幾萬(wàn)Pa就可檢漏。便攜式的檢漏儀，一個(gè)人就可以搬運(yùn)。甚至有些檢漏儀已經(jīng)可以通過(guò)手機(jī)APP遠(yuǎn)程控制檢測(cè)。

這些技術(shù)上的進(jìn)步，使檢漏工作的效率和便利性得到很大提升，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為檢漏技術(shù)中的主要方法。

不同真空范圍內(nèi)的抽氣時(shí)間計(jì)算

中真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算

這里所指的中真空領(lǐng)域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之間，中真空領(lǐng)域?qū)Ч軆?nèi)的氣體分子，處于黏性流和分子流的中間狀態(tài)，不能單純地像低真空或下面講的高真空那樣簡(jiǎn)單地計(jì)算。一般情況下，通過(guò)兩種方式分別計(jì)算抽氣時(shí)間，然后取計(jì)算值較大的結(jié)果。

真空抽氣要考慮的要素：

(1)到達(dá)真空度；

(2)抽氣速度；

(3)導(dǎo)通率；

(4)實(shí)際抽氣速度；

(5)氣體放出率；

(6)漏率。

用真空泵對(duì)真空腔體抽氣時(shí)，初腔體內(nèi)的壓強(qiáng)迅速降低，但是經(jīng)過(guò)一段時(shí)間后壓強(qiáng)下降變緩，并且趨于一個(gè)恒定值。導(dǎo)致這種現(xiàn)象的主要原因是材料的表面放氣。如下圖壓強(qiáng)和抽氣時(shí)間的關(guān)系。壓強(qiáng)變化的不同領(lǐng)域，分別稱(chēng)之為空間抽氣和表面抽氣。為了進(jìn)一步提高真空度，通常采用的對(duì)策如下：

（1）選擇表面放出氣體少的材料；

（2）通過(guò)電解拋光等手段，減小材料表面積，繼而減少氣體分子的吸附；

（3）對(duì)腔體進(jìn)行烘烤，促進(jìn)表面吸附氣體的放出。

高真空-超高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算

這里所指的高真空至超高真空領(lǐng)域，是指真空度在0.2Pa以下，對(duì)于高真空領(lǐng)域，要充分考慮容器壁以及容器內(nèi)物體的氣體放出，因此，抽氣時(shí)間和抽氣速度的計(jì)算方法和低真空領(lǐng)域不同。

p(t)———到達(dá)壓強(qiáng)；

Se———實(shí)際抽氣速度；

Ql———腔體漏氣量；

Qg(t)———腔體內(nèi)部放出氣體量；

p0———初期壓強(qiáng)。

氣體的放出量Qg(t)隨著時(shí)間t而減少。計(jì)算開(kāi)始時(shí)，假定一個(gè)抽氣時(shí)間，根據(jù)當(dāng)時(shí)的放氣量來(lái)求得到達(dá)的真空度。如果計(jì)算結(jié)果p(t)和所需的真空度不一致，則重新假定時(shí)間，根據(jù)新假設(shè)時(shí)間的氣體放出量再次計(jì)算。不斷重復(fù)，終讓p(t)在所需的真空范圍內(nèi)。

高真空領(lǐng)域的抽氣時(shí)間計(jì)算遠(yuǎn)比低真空領(lǐng)域復(fù)雜。真空腔體的內(nèi)表面經(jīng)過(guò)酒精清洗和150～200℃烘烤處理的兩種情況下，后者的氣體放出會(huì)減少10%左右，因此使用同樣的抽氣泵所能到達(dá)的真空度也會(huì)更高一些。

真空腔體內(nèi)的部件形狀和材質(zhì)也極大地影響到達(dá)的真空度和抽氣時(shí)間。如果使用了樹(shù)脂類(lèi)材料，則到達(dá)的真空度會(huì)比單純考慮金屬表面的氣體放出要差2～3個(gè)數(shù)量級(jí)。內(nèi)部使用螺釘時(shí)，螺紋部殘留的氣體隨著抽氣時(shí)間緩慢放出。為了加速螺紋部的氣體放出，要在螺釘中心穿孔，或在螺紋側(cè)面開(kāi)一個(gè)出氣孔。因此，內(nèi)部構(gòu)造越復(fù)雜，影響真空的因素就越多，要獲得高真空，設(shè)計(jì)上就更需要經(jīng)驗(yàn)。