凈化工程之“肺“--HEPA過(guò)濾器的由來(lái)

以確保空氣清潔，使科學(xué)家可以免遭危害。隨后科學(xué)家在約翰斯·滕豪斯所改良的空氣過(guò)濾器的基礎(chǔ)上進(jìn)一步的發(fā)展研發(fā)，終于研發(fā)出了HEPA過(guò)濾器。這種過(guò)濾器不僅可以凈化空氣，還可以去除空氣中的細(xì)菌、病毒、灰塵、花粉、霉菌孢子等粉塵及顆粒物。

早的過(guò)濾器為有隔板過(guò)濾器,用瓦楞狀鋁箔隔板分隔濾紙。20世紀(jì)70年代之前。

國(guó)人那時(shí)開(kāi)始對(duì)這種過(guò)濾器結(jié)構(gòu)產(chǎn)生興趣。20世紀(jì)80年代，國(guó)內(nèi)多家院所和企業(yè)研制無(wú)隔板過(guò)濾器；20世紀(jì)90年代，國(guó)內(nèi)數(shù)家企業(yè)引進(jìn)國(guó)外無(wú)隔板過(guò)濾器成套生產(chǎn)線。自此,我國(guó)慢慢開(kāi)始發(fā)展自己的過(guò)濾器產(chǎn)業(yè).

自以來(lái)，過(guò)濾器凈化用途已經(jīng)從原來(lái)單純的個(gè)人防護(hù)向企業(yè)工作環(huán)境的空氣凈化方面發(fā)展,廣泛應(yīng)用于光電子、半導(dǎo)體。

過(guò)濾器DOP（PAO）檢漏法在潔凈室中的應(yīng)用

掃描時(shí)采樣頭距過(guò)濾器面約1英寸（約2. 54cm），掃描速度不超過(guò)5cm/s。掃描按直線來(lái)回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測(cè)過(guò)程中，若有報(bào)警聲（即%LEAKAGE（泄漏率）超過(guò)0.01%），表明有泄漏。泄漏處使用專用膠水堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個(gè)過(guò)濾器約為5 min左右，在測(cè)試的過(guò)程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度。