流量控制器分類

熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。

1．接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測溫元件都置于被測流體的管道內(nèi)，與流體直接接觸，常被稱為托馬斯流量計(jì)，適于測量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測量元件與被測流體直接接觸，因此元件易受流體腐蝕和磨損，影響儀表的測量靈敏度和使用壽命。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較,再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。測量高流速、有腐蝕性的流體時(shí)不宜選用，這是接觸式的缺點(diǎn)。

2．非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計(jì)的加熱及測溫元件都置于流體管道外，與被測流體不直接接觸，克服了接觸式的缺點(diǎn)。

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流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。

當(dāng)流體成分確定時(shí)，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點(diǎn)溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實(shí)現(xiàn)，所以實(shí)際應(yīng)用較多。這種流量計(jì)多用于較大氣體流量的測量。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。流量控制器內(nèi)存在水汽有多糟解決方法如果ALICAT質(zhì)量流量控制器內(nèi)滲入水汽，情況則不至于那么糟。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當(dāng)用于大流量測量時(shí)，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴(kuò)大量程范圍。

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流量控制器容易受這幾個(gè)方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。隨著自動化水平的提高，許多生產(chǎn)過程都對流量測量提出了新的要求?？梢缘乜刂茪怏w的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，不用其他設(shè)備?？梢缘臏y量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。一、在使用質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候需要防止人為的斷電以及拆線，因?yàn)椴扇嚯娨约安鹦盘柧€的方法會使得設(shè)備短時(shí)間不計(jì)量還會導(dǎo)致計(jì)量糾紛。高壓改變了振動管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減??；氣體流經(jīng)振動管時(shí)，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。

二、溫度影響

用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。

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