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紫外:光學(xué)概念之一,激光應(yīng)用行業(yè)一般指波長(zhǎng)典型值為355nm的光譜。由于其“冷”光源的特點(diǎn),目前已在微加工(也可稱(chēng)為精細(xì)加工)領(lǐng)域占有重要地位。
高功率 高脈沖重復(fù)頻率 高脈沖能量、多頻可調(diào)脈寬是紫外精細(xì)加工的理想,目前應(yīng)用較多的紫外全固態(tài)固體激光器在精度和速度上還有待提高。紫外激光器聚焦后的光斑小可達(dá)15UM,所以非常適合進(jìn)行微孔鉆孔加工。但是在短波長(zhǎng)、窄脈寬、小的光束質(zhì)量因子(高光束質(zhì)量)、小的熱影響區(qū) 小的光斑直徑(物質(zhì)直接汽化)等方面的表現(xiàn)是相同的,基本能滿(mǎn)足一般意義上的“冷”加工。
目前在微電子材料的精細(xì)加工領(lǐng)域(主要應(yīng)用行業(yè):3C電子消費(fèi)類(lèi)移動(dòng)電子設(shè)備),如硅(芯片制造)、氧化鋁(陶瓷,微電子封裝)、玻璃(觸摸顯示屏制造)、銅(印刷電路板加工)方面,隨著新型材料的不斷涌入,薄脆(10-20μm)異型特點(diǎn)對(duì)傳統(tǒng)激光加工方式提出了不小的挑戰(zhàn)。紫外激光打標(biāo)機(jī)JGH-102紫外激光鐳射機(jī)標(biāo)記日期二維碼標(biāo)記速度快,效率高。在這些方面,紫外激光微加工助益良多。在提高成品率和產(chǎn)量、降低成本方面表現(xiàn)優(yōu)異。
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