從大的方面來(lái)講，光伏新能源硅晶片生產(chǎn)包括硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能源硅晶片生產(chǎn)兩大部分，細(xì)分為以下幾道主要工序：

單晶棒生長(zhǎng)-單晶棒裁切和檢測(cè)-外徑磨削-切片-倒角（圓邊）-研磨/研磨片檢查-蝕刻（化學(xué)蝕刻、LP-CVD AP-CVD 等工藝）-PTA熱處理-背面損傷處理-拋光（ML粗拋、ML精拋）-洗凈-品質(zhì)檢查-潔凈包裝

從單晶棒生長(zhǎng)到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序，切片以后的流程為光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序。下面以某日資硅片廠為例，介紹光伏新能源硅晶片生產(chǎn)工序的空調(diào)凈化系統(tǒng)和自控系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

GMP廠房潔凈工程為您簡(jiǎn)述空間凈化要嚴(yán)格控制以下幾點(diǎn)！

1、控制人員散發(fā)的污染

工作人員的鼻腔、口腔、皮膚、頭發(fā)和身上的服裝都散發(fā)污染物，對(duì)于控制人員散發(fā)的污染，首先是控制進(jìn)入無(wú)塵室的人員數(shù)量。與生產(chǎn)、科研無(wú)直接關(guān)系，未經(jīng)無(wú)塵室工作人員守則培訓(xùn)的人員，一律不得進(jìn)入無(wú)塵室。進(jìn)入的人員要遵循無(wú)塵室工作守則，整齊穿著潔凈工作服，戴工作手套、口罩、頭套，穿凈化鞋，經(jīng)潔凈通道進(jìn)入，對(duì)進(jìn)出無(wú)塵室人員要嚴(yán)格管理。

2、無(wú)塵室送風(fēng)的過濾

無(wú)塵室空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)的末端裝置——空氣過濾器或超空氣過濾器，在正常情況下能有效過濾經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的新風(fēng)和回風(fēng)中的顆粒污染物。經(jīng)、超空氣過濾器處理后的潔凈空氣送入室內(nèi)，可有效地排替、沖淡室內(nèi)污染物，以維持室內(nèi)的潔凈度。但末級(jí)過濾器如有破損或過濾器與支撐框架間的密封出現(xiàn)裂隙，氣密性失效，那么未經(jīng)空氣過濾器過濾的空氣就可能攜帶大量污染粒子進(jìn)入室內(nèi)并隨氣流擴(kuò)散，危害影響范圍較大。因此無(wú)塵室投入使用前的末級(jí)過濾器檢漏、堵漏或更換工作十分重要。運(yùn)行過程中防范末級(jí)過濾器受損，也十分重要。過濾器到達(dá)使用壽命后及時(shí)更換也同樣應(yīng)予以關(guān)注。

目前，有的生產(chǎn)廠家采用手動(dòng)方式進(jìn)行控制風(fēng)量和風(fēng)壓的調(diào)節(jié)，但由于控制風(fēng)量和風(fēng)壓的調(diào)節(jié)閥均在技術(shù)隔層，而且吊頂也都是彩鋼板的軟吊頂，基本上都是在安裝調(diào)試時(shí)調(diào)好，此后，大都沒再調(diào)節(jié)過，實(shí)際上也無(wú)法調(diào)節(jié)。為確保潔凈廠房的正常生產(chǎn)和工作，應(yīng)設(shè)置一套較完整的自控裝置，實(shí)現(xiàn)以下功能：潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監(jiān)控、風(fēng)閥調(diào)節(jié)；高純氣體、純水和循環(huán)冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測(cè)；氣體純度、純水水質(zhì)的監(jiān)測(cè)等。凈化空調(diào)系統(tǒng)的空氣過濾器隨運(yùn)行時(shí)間的增加，阻力增大，為保持風(fēng)量則需調(diào)節(jié)系統(tǒng)中的風(fēng)閥。在統(tǒng)調(diào)試時(shí)系統(tǒng)啟動(dòng)時(shí)，為使風(fēng)機(jī)空載啟動(dòng)，則需將風(fēng)機(jī)出口處風(fēng)閥關(guān)閉，風(fēng)機(jī)啟動(dòng)后，因風(fēng)閥上承受很壓力，開啟十分困難。采用空氣過濾器前后壓差的變化控制風(fēng)機(jī)的變頻調(diào)速裝置后，送風(fēng)量的調(diào)節(jié)會(huì)變十分容易，送風(fēng)壓力穩(wěn)定。這些監(jiān)控裝置可設(shè)計(jì)成單個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量，控制系統(tǒng)，也可設(shè)計(jì)成集散式計(jì)算機(jī)控制和管理系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)在風(fēng)機(jī)停轉(zhuǎn)無(wú)風(fēng)或超溫時(shí)，電加熱器會(huì)繼續(xù)送電加熱，造成設(shè)備損壞甚至發(fā)生火災(zāi)，為避免這種情況的出現(xiàn)，應(yīng)設(shè)置無(wú)風(fēng)以及超溫?cái)嚯姷谋Ｗo(hù)。