光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

     凈化工程的設(shè)計(jì)過程中，應(yīng)加強(qiáng)對(duì)光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析了解,根據(jù)該工程是新建工程或者是舊廠房改造工程，并結(jié)合其具體的生產(chǎn)工藝、生產(chǎn)流程等要求確定其需要的潔凈度、溫濕度。再根據(jù)該工程的具體情況，同時(shí)還要考慮到生產(chǎn)廠家的經(jīng)濟(jì)承受能力，綜合各種因素來確定采用何種凈化方案，這樣才可設(shè)計(jì)出一個(gè)能滿足甲方生產(chǎn)使用要求、工程造價(jià)合理、經(jīng)濟(jì)節(jié)能實(shí)用的方案。

    無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。風(fēng)淋室作為進(jìn)入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的很 好地凈化設(shè)備之一，它可以大限度地減少員工進(jìn)出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風(fēng)淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進(jìn)入無塵潔凈區(qū)域，達(dá)到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

    凈化車間潔凈度檢測時(shí)，使用光散射粒子計(jì)數(shù)器的取樣量：關(guān)于塵土粒子計(jì)數(shù)器檢測時(shí)的空氣取樣量，在國標(biāo)GBJ73-84中規(guī)則：關(guān)于100級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于1L，關(guān)于1000~10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L，關(guān)于10000級(jí)的凈化車間，每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。關(guān)于100級(jí)凈化車間，宜選用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測試。