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潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。
對于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個新風(fēng)量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。
潔凈室的管理規(guī)范:
1、嚴格各類設(shè)備,設(shè)施的維護管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備,設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn),包括凈化系統(tǒng),各類水,氣,電系統(tǒng),生產(chǎn)工藝設(shè)備和工具(工具夾)等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。
2、清掃,滅菌管理,對潔凈室內(nèi)的各類設(shè)備,設(shè)施的清掃,滅菌以及方法,周期和檢查明確的規(guī)定,防止,梢除潔凈室內(nèi)塵粒,微生物的生產(chǎn),滯留,繁殖。
GMP潔凈車間,凈化工程規(guī)劃應(yīng)確保安全出產(chǎn)和滿足環(huán)境保護的要求。云潔凈化工程的稍置和各項設(shè)備的規(guī)劃均有必要契合消防、防火的要求,應(yīng)按國家的有關(guān)標準、標準進行規(guī)劃,由于潔凈室凈化工程內(nèi)的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點,在進行各項技能設(shè)備的系統(tǒng)規(guī)劃、設(shè)備裝備和材質(zhì)選樣時,加特別留意按規(guī)定選用契合要求的系統(tǒng)、沒備和材質(zhì)。