主動式掃描與多點觸測式測頭系統(tǒng)

掃描測量率高達500點/秒。

數(shù)據采集測力可調(50-1000mN)

ZEISS VAST XT gold：探針：長度=500mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS VAST gold：探針：=800mm，重=600g（含吸盤），探針直徑=0.3mm。

ZEISS VAST XTR gold：探針：長度（固定）=500mm，長度（旋轉）=350mm，重量=500g（含吸盤），探針直徑=0.5mm。

ZEISS RDS-D動態(tài)旋轉測座，可選配光學與接觸式測頭系統(tǒng)。

采用側面旋轉技術的動態(tài)旋轉測座于兩個方向均可實現(xiàn)±180°旋轉，步距角2.5°，

空間旋轉位置可達20736個。采用CAA技術，極大的節(jié)約了探針校準與檢測時間。

適用于ZEISS RDS-D的掃描與多點觸測式測頭系統(tǒng)。掃描測量率達150點/秒

使用TL3模塊時，探針長度 = 30-150 mm；長加長桿 = 100 mm；

大探針重量 = 15 g；小探針直徑 = 0.3 mm.

ZEISS DotScan

測量范圍 1 mm 2)

配備共聚焦白光測距傳感器，適用于ZEISS RDS-DCAA

掃描測量速率高達1000點/秒。

工作距離：10,5mm ,分辨率28nm

可測量平面與光束夾角范圍90°± 30°1) 光斑直徑 8 μm

測量范圍 3 mm 2)

工作距離：21,5mm ,分辨率36nm，

可測量平面與光束夾角范圍90°± 24° 1) 光斑直徑 9 μm