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氣體產(chǎn)品的應(yīng)用
因?yàn)?strong>氣體產(chǎn)品的應(yīng)用覆蓋面大,一般將氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)與供電、供水一樣,作為工業(yè)投資環(huán)境的基礎(chǔ)設(shè)施,被視為國(guó)民經(jīng)濟(jì)“命脈”而列為公用事業(yè)行業(yè)。近年來(lái),隨著我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,氣體產(chǎn)品應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大,用量不斷增加,新產(chǎn)品不斷推出,純度不斷提高,市場(chǎng)需求不斷擴(kuò)大,產(chǎn)值增長(zhǎng)速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)同期國(guó)民經(jīng)濟(jì)總值的增長(zhǎng)速度,達(dá)到年12%的增長(zhǎng)率。2017年5月2日,科技部印發(fā)《“十三五”先進(jìn)制造技術(shù)領(lǐng)域科技創(chuàng)新專項(xiàng)規(guī)劃》中關(guān)鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝,重點(diǎn)研發(fā)包括超高純電子氣體和其他關(guān)鍵材料產(chǎn)品。目前全國(guó)氣體產(chǎn)品市場(chǎng)年銷售額約為400億元。雖然氣體工業(yè)總產(chǎn)值在國(guó)民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)總值中所占的比例不算大,但它對(duì)近年來(lái)飛速發(fā)展的微電子、航空航天、生物工程、新型材料、精密冶金、環(huán)境科學(xué)等高新技術(shù)部門有重要影響,是這些部門不可缺少的原材料氣或工藝氣。正是由于各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng),氣體工業(yè)產(chǎn)品才在品種,質(zhì)量和數(shù)量等方面取得令人矚目的飛躍發(fā)展。
進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái),中國(guó)擁有快速發(fā)展的工業(yè)市場(chǎng)和日益增長(zhǎng)的產(chǎn)品需求,已逐漸成為世界上氣體行業(yè)活躍的市場(chǎng)之一,對(duì)于氣體的需求量持續(xù)高速增長(zhǎng),給氣體行業(yè)帶來(lái)歷史性的發(fā)展機(jī)遇。各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口,以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。據(jù)統(tǒng)計(jì),2018年我國(guó)工業(yè)氣體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模進(jìn)一步增長(zhǎng)至1300億元以上。國(guó)際5大工業(yè)氣體巨頭林德-普萊克斯集團(tuán)、法液空、美國(guó)空氣化工、德國(guó)梅賽爾集團(tuán)、日本大陽(yáng)日酸株式會(huì)社先后在中國(guó)投資辦廠,國(guó)內(nèi)工業(yè)氣體市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)加劇。
高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過(guò)程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。氣體島(氣化島)根據(jù)服務(wù)群體規(guī)模分為企業(yè)級(jí)和園區(qū)級(jí),根據(jù)供氣成分分為合成氣型(CO H2、H2、CO)和工業(yè)燃?xì)庑?,依?jù)服務(wù)行業(yè)又可分為化工型(煉油/煤化工/其它化工等)和其他工業(yè)型(陶瓷/建材/水泥等)。當(dāng)管路中有氣流通過(guò)時(shí),金屬所吸留的這部分氣體會(huì)重新進(jìn)入氣流中,污染純凈氣體。當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動(dòng)時(shí),管材對(duì)所通過(guò)的氣體形成壓力下吸附,氣流停止通過(guò)時(shí),管材所吸附的氣體又形成解析,而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純凈氣體中。同時(shí),吸附、解析周而復(fù)始,使得管材內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末,這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要,為了確保輸送的氣體的純凈度,不僅要求管材內(nèi)表面有一個(gè)極高的光滑度,而且,應(yīng)當(dāng)具有很高的耐磨特性。電子氣體的特點(diǎn)
電子氣體(Elect ron ic gases) :半導(dǎo)體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣、高純4 _6 m p- _4氣和半導(dǎo)體特殊材料氣體三大類。焊接大厚度鋁及鋁合金時(shí),采用Ar He混合氣體可改善焊縫熔深、減少氣孔和提高生產(chǎn)率。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝;高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。電子氣體按純度等級(jí)和使用場(chǎng)合,可分為電子級(jí)、L S I (大規(guī)模集成電路) 級(jí)、VL S I (超大規(guī)模集成電路) 級(jí)和UL S I (特大規(guī)模集成電路)級(jí)。