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凈化車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室等,是指將一定空間范圍之內(nèi)的空氣中的微粒子、有害氣體、細(xì)菌等之污物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍之內(nèi),給予特別之設(shè)計(jì)的房間。也即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
凈化車間每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)。目前凈化車間應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
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無塵凈化車間采用的主要?dú)饬鹘Y(jié)構(gòu)分為兩類:湍流(層流)。室內(nèi)粉塵源中產(chǎn)生的粉塵均鏟散并“稀釋”。并流無塵室,無塵室,重組,艱苦的建設(shè),投資和運(yùn)營成本均僅在非常需要此過程時(shí)才使用孤島?;煦缌黧w凈化工程主要是為了控制稀釋效果,因此不同于普通空調(diào)采用的氣流結(jié)構(gòu)。它的原理是滿足過程和人體衛(wèi)生要求,并阻止渦流將灰塵帶到該區(qū)域之外。減少工件的凈化機(jī)會。無液室,無塵室,無塵車間,凈化工程組織簡單,施工方便,投資和運(yùn)行費(fèi)用少。因此,大多數(shù)潔凈室和無塵車間都采用這種方法。