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線切割設(shè)備
切割液
金剛線切割設(shè)備使用的切割液主要作用是冷卻,所以主要采取冷卻水或油基冷卻。使用水做切割液可以混合部分粘合劑,減輕清洗工序工作強(qiáng)度;另一個作用是切損硅料容易回收。油基冷卻主要是乙二醇做切割液,原理上乙二醇基的切割方法也有助于硅料的回收,但是需要相對復(fù)雜的化學(xué)方法處理,提高了回收成本。精密切割加工是制備半導(dǎo)體和光電晶體基片的主要加工工藝之一,在微電子、光電子器件的制造過程中占有很高的地位。
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柔性切割
切割速度的選擇:
金剛石線鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅硬,切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進(jìn)行往復(fù)磨削,達(dá)到切割的目的。根據(jù)材料特性,一般硬度適中(莫氏硬度<9)的脆性材料切割速度可適當(dāng)快一些,如硅、石墨、壓電陶瓷、玻璃等。這是因為這些材料遠(yuǎn)沒有金剛石堅硬,當(dāng)金剛石線與其進(jìn)行磨削時會很容易將材料磨削成顆粒進(jìn)而切割。3、控制系統(tǒng)要根據(jù)不同的切割材料、不同的生產(chǎn)量來制訂相應(yīng)控制系統(tǒng),達(dá)到適宜的自動化程度。當(dāng)切割金屬或混合型材料或者難于切割的陶瓷材料,切割速度要盡可能慢。
金屬線切割
金屬線切割過程中的注意事項
如各類硬質(zhì)合金鋼、氮化硅陶瓷、金屬陶瓷、鈦合金、電機(jī)等。在光伏領(lǐng)域,為了滿足市場對于更低成本和更高生產(chǎn)效率的要求,金剛線技術(shù)的研究和產(chǎn)業(yè)化,將進(jìn)一步縮小硅片厚度并降低了切割過程中的材料損耗,從而減少了太陽能電力的硅材料消耗量。這是因為金屬類的樣品具有粘刀的特性,降低金剛石線的磨削率,若切割速度設(shè)置過快會使與樣品接觸處的金剛石線出現(xiàn)一定向上的弧度,兩個導(dǎo)向輪間線的跨距越大,允許的弧度越大,一般跨距是900㎜時允許金剛石線與樣品接觸處出現(xiàn)弧度的至高點(diǎn)與金剛石線的水平位置的距離不超過6㎜