?電火花線切割

電火花線切割加工要求被加工材料必須導(dǎo)電，其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中，靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。將工件接入脈沖電源正極，采用鉬絲或銅絲作為切割金屬絲，將金屬絲接高頻脈沖電源負(fù)極作為工具電極，利用火花放電對(duì)加工零件進(jìn)行切割。脈沖電源提供加工能量，加工過(guò)程中應(yīng)用專用的線切割工作液清除加工中產(chǎn)生的碎屑，切割過(guò)程中若工件材料過(guò)厚時(shí)，工作液較難進(jìn)入和充滿放電間隙，會(huì)對(duì)加工精度和表面粗糙度造成影響。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體和光電晶體的切割加工提出更高要求。

而金剛石線切割不存在導(dǎo)電的問(wèn)題，其加工精度和粗糙度都大幅提升

金剛石線切割機(jī)

金剛石線切割機(jī)常用的金剛石線有電鍍型和樹脂型兩種。

1、電鍍型：用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬（一般為鎳和鎳鈷合金），并在金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結(jié)合劑，金剛石磨料則用于切削加工。

2,、樹脂型：樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細(xì)鋼絲線上噴涂一種增強(qiáng)耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線，主要應(yīng)用于單晶硅、多晶硅、藍(lán)寶石、水晶、陶瓷和半導(dǎo)體材料的切割上，能取代目前碳化硅砂漿法，解決了環(huán)境污染。

高速線切割設(shè)備

樹脂金剛石線的特點(diǎn)：

高強(qiáng)度樹脂及金剛石相結(jié)合帶來(lái)的強(qiáng)的切割能力，線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質(zhì)量及切割表現(xiàn)，高耐扭曲能力的母線帶來(lái)了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復(fù)雜，目前主要依靠進(jìn)口，其成本較高，因此還得不到廣泛的應(yīng)用。

線切割設(shè)備多采用電鍍金剛石線，國(guó)內(nèi)的線切割設(shè)備生產(chǎn)廠家眾多，生產(chǎn)能力強(qiáng)，已經(jīng)可以滿足各領(lǐng)域的切割需求

高速切割設(shè)備

切割行程的設(shè)置：

切割行程=樣品的長(zhǎng)度 5mm。為保證將樣品切斷，通常會(huì)在樣品的實(shí)際高度之上增加5㎜。當(dāng)要求對(duì)樣品進(jìn)行開槽時(shí)，實(shí)際切割行程應(yīng)與開槽深度相同，為保證停止切割時(shí)所開槽口深度達(dá)到要求，當(dāng)切割行程達(dá)到設(shè)定行程時(shí)應(yīng)暫停切割，但主軸帶動(dòng)金剛石切割線繼續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間，從而使樣品未達(dá)到切割深度的位置繼續(xù)被切割，直到樣品被切割部位每一點(diǎn)都達(dá)到所要求的切割深度。市場(chǎng)上磁性材料的切割主要是內(nèi)圓切片機(jī)，但設(shè)備昂貴，切割尺寸受限，切割速度低，遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足不了市場(chǎng)的需求。