淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機組。我公司的主要產(chǎn)品有：2BEA、2BEC、2BV、SZ、SZB、SK、2SK、2SK—P1系列水環(huán)式真空泵及壓縮機：W、WY、WLW系列往復(fù)式真空泵旋片式2X系列、W、WY系列往復(fù)式真空泵,真空過濾機配套產(chǎn)品等，廣泛應(yīng)用于石油、化工、電子、機械、冶金、礦山、食品、印刷等各個領(lǐng)域。

選擇時，應(yīng)該了解真空系統(tǒng)是否對油污染有要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵；如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，也能達到清潔真空要求。

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有效稀釋有害氣體的濃度：

　　半導體易產(chǎn)生前面所說的、有毒的有害氣體。所以半導體真空泵應(yīng)用中在抽取這些介質(zhì)時就必須防止它們在真空泵內(nèi)或者排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物質(zhì)，在與空氣或氧接觸的時候，會引起燃燒甚至；氫氣在空氣中的混合比例達到一定程度與溫度時也會發(fā)生燃燒。這些都取決于該物質(zhì)的量以及與環(huán)境的壓力、溫度的關(guān)系。因此半導體真空泵在抽取這些介質(zhì)時，需要用氮氣之類的惰性氣體，在壓縮前即將這些氣體稀釋到當時條件下的安全范圍?！　?/span>

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對傳動系統(tǒng)進行改造

　　為減少電機、傳動軸的振動向水環(huán)式真空泵傳遞，把它與傳動軸之間的剛性連接改為彈性連接。使用GB4323-84彈性套柱銷聯(lián)軸器，較大補償位移量為0.6毫米，補償角為1°30，這樣，電機、傳動軸的振動可以通過彈性聯(lián)軸器得到補償，不會直接傳遞到真空泵。

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