浙江游星電子科技有限公司（原開化縣模具廠）創(chuàng)建于1991年，是一家集研發(fā)，生產(chǎn)、服務(wù)為一體的高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)生產(chǎn)

【游星輪】【研磨盤】【修正輪】【中心輪】等精密研磨拋光設(shè)備附件。

游星輪廠家與您分享

現(xiàn)有的9B型雙面拋光機，其游星輪上的加工位數(shù)量較多，加工位的面積較小，蕞大加工范圍為200mm，無法加工較大面積的工件，而且在加工過程中必須保證光學(xué)器件的均勻打磨，當(dāng)光學(xué)器件在研磨過程中一直接觸某一位置的打磨盤時，由于打磨盤本身的粗糙程度不同，會造成光學(xué)器件各處打磨程度不同的情況

浙江游星電子科技有限公司將為您提供的產(chǎn)品和專業(yè)化的服務(wù)。

傳統(tǒng)的拋光機會選擇與中心齒輪和外周齒輪間距相匹配的游星輪，使游星輪在中心齒輪和外周齒輪之間轉(zhuǎn)動，并且游星輪在拋光機上轉(zhuǎn)動的同時發(fā)生自轉(zhuǎn)，從而保證光學(xué)器件的均勻打磨，但在使用9B型雙面拋光機加工大面積的工件時(加工方法請見本申請人之前提交的“大基片游星輪”申請)，由于必須將游星輪的中心作為轉(zhuǎn)動中心，因此僅能實現(xiàn)游星輪的自轉(zhuǎn)，無法使光學(xué)器件得到均勻打磨。游星輪廠家與您分享工程陶瓷薄件固著磨料研磨研究樹脂結(jié)合劑研磨片具有一定的彈性,金屬結(jié)合劑研磨片具有良好的磨削性能和耐磨性。

一種用于正多邊形晶片研磨的游星輪，包括：同心設(shè)置的基體齒盤和旋環(huán)，所述基體齒盤外圈設(shè)置有齒，所述基體齒盤內(nèi)部圓周均布有若干正多邊形孔，所述正多邊形孔的每個頂角處均設(shè)置有夾桿

所述夾桿上設(shè)置有滑槽，所述滑槽內(nèi)設(shè)置有扣柱，相鄰頂角上的所述夾桿通過所述滑槽與所述扣柱相互連接，所述扣柱的數(shù)量與所述夾桿數(shù)量相同，均等于所述正多邊形的邊數(shù)，相鄰所述扣柱之間設(shè)置有拉緊彈簧，所述旋環(huán)通過連桿與一個所述扣柱相連，所述旋環(huán)插扣于所述基體齒盤的中心。為此，在半導(dǎo)體器件制造過程中，在晶圓的功能面上形成眾多半導(dǎo)體器件之后，進(jìn)行晶圓背面研磨工藝(BackGrinding，簡稱BG)，采用平坦化工藝研磨晶圓與功能面對應(yīng)的背面去除部分厚度的晶圓，以減小后續(xù)形成的芯片厚度。

隨著科技的發(fā)展，電子產(chǎn)品的功能不斷增強，而尺寸不斷減小。在半導(dǎo)體器件的制造領(lǐng)域，半導(dǎo)體器件的尺寸不斷減小，電子芯片的尺寸不斷減小。

為此，在半導(dǎo)體器件制造過程中，在晶圓的功能面上形成眾多半導(dǎo)體器件之后，進(jìn)行晶圓背面研磨工藝(Back Grinding，簡稱BG)，采用平坦化工藝研磨晶圓與功能面對應(yīng)的背面去除部分厚度的晶圓，以減小后續(xù)形成的芯片厚度。