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動量傳輸泵:這種泵是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹?。具體可分為下述幾種類型。(1) 分子真空泵:它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把能量傳輸給氣體分子,使之壓縮、排氣的一種真空泵。它有如下幾種型式:① 牽引分子泵:氣體分子與高速運(yùn)動的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得力量,被送到出口,因此,是一種動量傳輸泵。②渦輪分子泵:泵內(nèi)裝有帶槽的圓盤或帶葉片的轉(zhuǎn)子,它在定子圓盤(或定片)間旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子圓周的線速度很高。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。③ 復(fù)合分子泵:它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)起來的一種復(fù)合式分子真空泵。
高真空系:滑閥式真空泵廣泛應(yīng)用于真空拉晶、真空鍍膜、真空冶金、真空熱處理、真空浸漬、真空干燥、真空蒸餾、真空練泥、航空航天模擬試驗(yàn)等新材料、新技術(shù)、新工藝的生產(chǎn)與研制中?;y真空泵可單獨(dú)使用,也可作為羅茨真空泵、油增壓泵、油擴(kuò)散泵的前級泵的使用。當(dāng)抽吸對黑色金屬有腐蝕、對真空油起化學(xué)反應(yīng)、含大量蒸汽、大量粉塵的氣體時,需附加裝置。
真空的定義真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。真空度處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度,通常用“真空度高”和“真空度低”來表示。真空度高表示真空度“好”的意思,真空度低表示真空度“差”的意思。真空度單位通常用托(Torr)為單位,國際上取用帕(Pa)作為單位。1托=1/760大氣壓=1毫米柱托與帕的轉(zhuǎn)換1托=133.322帕 或 1帕=7.5×10-3托