氟系清洗劑主要有HCFC(含氫氟氯化碳)、HFC(含氫碳氟化物)、HFE(氫氟醚)、PFC(全氟化碳)等。其中HFC，HFE，PFC本身不具有清洗力，需要和其它化合物組合后才能使用。該類清洗劑具有與CFC-113接近的清洗性能，穩(wěn)定。低毒。不燃。安全可靠，但是通常價格昂貴。HCFC對臭氧層有一定的影響，大量使用的有HCFC-141B、HCFC-225。屬于過渡性替代品，終還要被禁用;HFC和HFE類清洗劑過于穩(wěn)定。用超聲波清洗和加熱升溫清洗須專人照料，清洗前請檢查設(shè)備是否漏電、正常。在大氣中的壽命高達數(shù)千年甚至幾萬年。是非常厲害的溫室氣體。在<;京都議定書>;正式生效以后，可能也要被限制使用。

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FAST?技術(shù)清洗劑：較短、活潑的分子結(jié)構(gòu)，與殘留物分子形成多鍵結(jié)合。該清洗技術(shù)賦予表面活性劑更短、更活潑的分子結(jié)構(gòu)。較之傳統(tǒng)的表面活性劑分子，F(xiàn)AST?分子在污染物表面具有更快的移動能力。這種結(jié)構(gòu)可以顯著提高其浸潤能力，從而有效地去除所有殘留物。FAST?清洗技術(shù)可以保證較短的接觸時間內(nèi)的清洗效果。清洗劑(半水基型)由細顆粒狀弱堿性吸附各種助劑合成的藥劑的新型清洗l劑產(chǎn)品，采用天然介面活性磨粒為原料，配合多種活性劑及殺菌劑、拋光劑、進口參透劑以及獨特光亮因子等環(huán)保技術(shù)高科技配制而成的，是一種多功能、高l效的綜合性環(huán)保清洗護理產(chǎn)品。因此，基于FAST?技術(shù)的清洗劑特別推薦用于高壓噴淋應(yīng)用中，如在線清洗工藝。

清洗劑具有與CFC-113接近的清洗性能，穩(wěn)定。低毒。不燃。安全可靠，但是通常價格昂貴。主要技術(shù)參數(shù)與TCA幾乎完全一樣，濕潤系數(shù)更好，對于金屬零件的清洗能力更強。HCFC對臭氧層有一定的影響，大量使用的有HCFC-141B、HCFC-225。屬于過渡性替代品，終還要被禁用；HFC和HFE類清洗劑過于穩(wěn)定。在大氣中的壽命高達數(shù)千年甚至幾萬年。是非常厲害的溫室氣體。