系列油封旋片泵 功能，同時(shí)具備高真空和高吞吐量性能，超低的噪音級(jí)別和卓越的氣囊裝置，使其成為廣泛適用于各種應(yīng)用和環(huán)境的理想產(chǎn)品。這些泵的抽速范圍為 3 至 12 m3/hr。

型號(hào)：RV3、RV5、RV8、RV12

●中型 EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 18 和 28  m3/hr。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。

型號(hào)：E1M 18/28

●EM 系列泵是結(jié)實(shí)耐用的機(jī)械油封泵，抽速為 0.7 到 275 m3/hr（30 到 206 CFM）。這些泵結(jié)構(gòu)緊湊，使用時(shí)非常安靜，具備先進(jìn)的潤(rùn)滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應(yīng)用需求。

E2M 0.7/1.5/18/28/40/80/175/275

愛德華真空泵維修保養(yǎng)要求

運(yùn)行中的維護(hù)

各部件必須在潤(rùn)滑油的潤(rùn)滑下運(yùn)行。

定期檢查電動(dòng)機(jī)電流值，不得超過(guò)電動(dòng)機(jī)額定電流

泵長(zhǎng)期運(yùn)行后，由于機(jī)械磨損，使機(jī)組噪聲級(jí)振動(dòng)增大時(shí)，應(yīng)停機(jī)檢查，必要時(shí)可更換易損零件及軸承

，機(jī)組大修期一般為一年。

機(jī)械密封維護(hù)

機(jī)械密封潤(rùn)滑應(yīng)清潔無(wú)固體顆粒

嚴(yán)禁機(jī)械密封在干磨情況下工作。

起動(dòng)前應(yīng)光盤東泵幾圈，以免突然起動(dòng)造成石墨環(huán)斷裂損壞。

啟動(dòng)前應(yīng)關(guān)盤動(dòng)泵幾圈，以免濡染啟動(dòng)造成石墨環(huán)斷裂損壞。

四、愛德華真空泵維修故障原因及排除方法。

故障現(xiàn)象可能產(chǎn)生的原因排除方法真空不足旋片損壞，缸體磨損，轉(zhuǎn)子與缸體切點(diǎn)間隙變異更換旋片，修復(fù)岡日，調(diào)整相應(yīng)間隙流量不足管道不通暢，泵浦沉積油垢，雜物，電壓降低清理輸送管道，清潔泵浦，調(diào)整電壓功率過(guò)大超過(guò)額定流量使用，吸程過(guò)高，泵軸承磨損調(diào)節(jié)流量關(guān)小出口閥門，降低吸程，更換軸承雜音振動(dòng)管路支撐不穩(wěn)，潤(rùn)滑油混有氣體，產(chǎn)生汽蝕，軸承損壞，電動(dòng)機(jī)超載發(fā)熱運(yùn)行穩(wěn)固管路，提高吸入壓力排氣，降低真空度，更換軸承，調(diào)整按電動(dòng)機(jī)發(fā)熱方法排除電動(dòng)機(jī)發(fā)熱流量多大，超載運(yùn)行，碰擦，電動(dòng)機(jī)軸承損壞，電壓不足關(guān)小出口閥，檢查排除，更換軸承，穩(wěn)壓泵浦漏油機(jī)械密封磨損，泵體有砂孔或破裂，密封面不平整，安裝螺栓松動(dòng)更換密封套件，修補(bǔ)泵浦，修正密封面端面，緊固螺栓

用手盤動(dòng)泵以使?jié)櫥鸵哼M(jìn)入機(jī)械密封端面

起動(dòng)

全開進(jìn)口閥門

關(guān)閉出口管路閥門

起動(dòng)電動(dòng)機(jī)，觀察泵運(yùn)行是否正確

調(diào)節(jié)出口閥開度至所需工況，如用戶在泵出口裝有流量計(jì)或壓力表，應(yīng)通過(guò)調(diào)節(jié)出口閥門開度使泵在性

能參數(shù)表所列的額定點(diǎn)上運(yùn)行，并通過(guò)調(diào)節(jié)出口閥門開度，測(cè)量泵的電動(dòng)機(jī)電流，使電動(dòng)機(jī)在額定電流

內(nèi)運(yùn)行，否則將造成超負(fù)荷運(yùn)行致使電動(dòng)機(jī)燒壞。調(diào)整出口閥門開啟度與管道工況有關(guān)

檢查軸封泄漏情況

檢查電動(dòng)機(jī)，軸承處唯獨(dú)應(yīng)小于等于70度

停止

關(guān)閉吐出管路閥門

停止電動(dòng)機(jī)

閉進(jìn)口閥門

如長(zhǎng)期停機(jī)，應(yīng)將泵內(nèi)潤(rùn)滑油放盡。

愛德華iH系列真空泵維修

Edward iH series vacuum pump repair

維修型號(hào)：iH80、iH600、iH1000等      愛德華是半導(dǎo)體和平板顯示器工藝方面的供應(yīng)商，集工藝實(shí)現(xiàn)技術(shù)，材料和服務(wù)于一體。愛德華真空泵經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間使用，已被正面其達(dá)到高運(yùn)行標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高正常運(yùn)行時(shí)間、增加產(chǎn)量，使其擁有了可靠的高性能，同時(shí)又具有占地面積小，擁有成本低等優(yōu)點(diǎn)。

     針對(duì)各種困難工藝，例如會(huì)生成顆粒、可凝結(jié)和腐蝕性副產(chǎn)品的PECVD等，IH系列提供極高的可靠性。iH干泵系列的峰值抽速?gòu)?0到1800立方米/小時(shí)，其中iH1800干泵是專為高排量應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。