無塵室內防止微粒子污染的基本原則：

    不發(fā)生

　　在控制大污染源--人在無塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發(fā)塵，而物品在移動時也會有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到小限度應采取以下對策：

　　減少接觸剝離發(fā)塵的動作形態(tài)；

　　采用磨耗發(fā)塵小的材質；

　　采用發(fā)塵小的潤滑油；

　　機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    除了人員進出潔凈室須予以規(guī)范管理外，原材料及設備進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響潔凈室潔凈度。其進潔凈室流程如表8-4所示。(2)室內氣流流型及分布：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝設備布置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成局部渦流。至于搬出則反向而行，但不須經洗滌程序。原材料及設備進出用潔凈室為潔凈室等級1000或10,000級房間，工作人員于其室內清潔設備或原材料時必須穿著清潔衣服，所使用擦拭紙為無塵紙或不會脫落纖毛無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3～5%濃度的IPA或化學品，以增強去污能力，由于IPA具揮發(fā)性故此房間排氣效果須特別考慮。搬遷設備時為免破壞地板支架及地板表面，必須事先于地板上鋪設已清潔過的不銹鋼板，作為輔助。

    個人物品，例如煙、錢包、紙巾和紙制品，都要存放在辦公桌或者儲物柜里，不能把它們帶進潔凈室。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。特點：超高過濾效果，可有效的除去對呼吸氣管造成過敏的有害粉塵，減少呼吸疾病的發(fā)生。蘇州卓宇泰公司要求在進入潔凈室之前，首先要把眼鏡和護目鏡上所有看得見的微粒污染物擦掉。干燥的皮屑、呼出的空氣和唾液都可能會污染產品。一次性鞋套每天更換一到兩次。