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真空泵維修說(shuō)明事項(xiàng),泵的極限壓力是在真空計(jì)(麥?zhǔn)险婵沼?jì))測(cè)得的分壓強(qiáng)值,如用熱偶真空計(jì)、電阻真空計(jì)等全壓強(qiáng)計(jì)測(cè),其真空值至少要低一個(gè)多數(shù)量級(jí)。泵抽除含氧過(guò)高、對(duì)金屬有腐蝕作用的、與真空泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體或有機(jī)容劑等,請(qǐng)務(wù)必在被抽系統(tǒng)與真空泵之間串聯(lián)一相應(yīng)的過(guò)濾器或干燥劑,以確保真空泵正常使用。模塊化設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的解決方案電子槍容量、低溫制冷系統(tǒng)的實(shí)施或腔室內(nèi)疏水性鍍膜功能相關(guān)的升級(jí)選件可在日后輕松添加至LEYBOLDOPTICSCCS的基本配置。為確保真空儀器真空后的安全可靠,在真空泵與真空儀器之間必須裝置一閥門開(kāi)關(guān)(真空儀器本身帶有開(kāi)關(guān)的除外)
真空泵原因,這與人有病要去醫(yī)的簡(jiǎn)單道理一樣,因?yàn)檎婵毡镁S修是真空泵管理的一個(gè)重要內(nèi)容,一方面通過(guò)維修更換已損壞或可能將損壞的零部件,調(diào)整長(zhǎng)期運(yùn)行中變化了的一些機(jī)械參數(shù),使真空泵維修后,真空泵能夠提,維持至下一維修周期內(nèi)不發(fā)生意外故障。另一方面通過(guò)維修能幾類真空泵管理經(jīng)驗(yàn),實(shí)行對(duì)真空泵改進(jìn)的措施。 真空泵維修的進(jìn)展,就像人生病一樣,醫(yī)生通過(guò)對(duì)的常規(guī)檢查或各種儀器等的數(shù)據(jù),結(jié)合人體解剖學(xué)知識(shí)或臨床經(jīng)驗(yàn),推測(cè)體內(nèi)的病變,盡量不用開(kāi)刀而準(zhǔn)確診斷,從而對(duì)癥下藥。真空泵故障診斷也希望無(wú)需把正在運(yùn)轉(zhuǎn)的真空泵停下來(lái)拆開(kāi)而用各種方法取得有關(guān)數(shù)據(jù),診斷真空泵內(nèi)部的故障狀況,從而采取一定的維修措施,使真空泵長(zhǎng)周期、運(yùn)轉(zhuǎn)。真空泵維修一方面是消除故障隱患,在發(fā)生上述兩類故障前把隱性故障排除;另一方面使真空泵長(zhǎng)周期運(yùn)轉(zhuǎn),也為真空泵的進(jìn)一步改進(jìn)提供依據(jù)。事后維修,俗語(yǔ)壞了就修,故障發(fā)生后根據(jù)故障的性質(zhì)及范圍決定維修內(nèi)容,這類維修造成損失較大,它打亂了生產(chǎn)計(jì)劃。因維修準(zhǔn)備倉(cāng)促而無(wú)法保證維修質(zhì)量,停機(jī)周期廠,往往不能在停機(jī)維修發(fā)生故障部位的同時(shí),會(huì)防不勝防。 真空泵不能啟動(dòng),主要表現(xiàn)為真空泵加電后不能啟動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)。這時(shí)應(yīng)首先檢查真空泵的電路部分,如保險(xiǎn)管是否燒毀、電路部分有沒(méi)有元?dú)饧龎?。在真空狀態(tài)下,氣體通過(guò)管道的流動(dòng)屬于稀薄氣體流動(dòng)。在真空系統(tǒng)管路中的氣流有五種流動(dòng)狀態(tài):湍流(又稱紊流、渦流);湍-粘滯流;粘滯流(又稱層流、粘性流、泊稷葉流);在電機(jī)軸上旋轉(zhuǎn)的風(fēng)扇產(chǎn)生冷卻所必須的空氣流,來(lái)通過(guò)冷卻盤管中的潤(rùn)滑。粘滯-分子流;分子流(又稱自由分子流、克努森流)。湍-粘滯流是湍流和粘滯流之間的過(guò)渡狀態(tài),粘滯-分子流是粘滯流和分子流之間的過(guò)渡狀態(tài)。
關(guān)于真空泵漏氣檢測(cè)方法
真空泵在使用過(guò)程中如發(fā)現(xiàn)有漏氣情況首先應(yīng)當(dāng)辨別是:真空泵漏還是管道漏。
1、檢測(cè)真空泵的方法:將真空泵與其管道分離,用真空計(jì)直接測(cè)量真空泵進(jìn)氣口,如果泵真空度達(dá)到使用標(biāo)準(zhǔn)就排除了泵漏氣的可能;
2、檢測(cè)管道的方法:把管道或管道某一段取下,將其中一頭接在不漏氣的泵上,另一頭用真空計(jì)測(cè)量,通過(guò)這個(gè)方法檢測(cè)能夠分清漏氣點(diǎn)。
螺桿真空泵是把兩個(gè)經(jīng)過(guò)動(dòng)平衡校正、用軸承支撐的螺桿,安裝在真空泵腔內(nèi),并在兩個(gè)螺桿之間預(yù)留合理的間隙。螺桿泵在運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候,兩根螺桿在泵腔內(nèi)作同步高速的反向旋轉(zhuǎn),以此來(lái)產(chǎn)生進(jìn)氣和排氣。因?yàn)槁輻U經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的動(dòng)平衡校正,并且螺桿之前有合理的間隙,因此真空泵工作時(shí),螺桿之間不會(huì)相互磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,并且運(yùn)行時(shí)腔室內(nèi)不需潤(rùn)滑油,消耗功率低,具有節(jié)能,免維修等優(yōu)點(diǎn),特別適用于要環(huán)境及噪音要求比較高的工藝。泵抽除含氧過(guò)高、對(duì)金屬有腐蝕作用的、與真空泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體或有機(jī)容劑等,請(qǐng)務(wù)必在被抽系統(tǒng)與真空泵之間串聯(lián)一相應(yīng)的過(guò)濾器或干燥劑,以確保真空泵正常使用。