化學(xué)性質(zhì)

六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體，它的分子量為146.07，在20℃和0.1 MPa時密度為6.1kg/m3，約為空氣密度的5倍。

化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。微溶于水、醇及醚，可溶于氫yang化鉀。不與氫氧hua鈉、液氨及鹽酸起化學(xué)的反應(yīng)。300℃以下干燥環(huán)境中與銅、銀、鐵、鋁不反應(yīng)。在微電子業(yè)中，可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導(dǎo)體材料上的有機或無機膜狀物，并可在光導(dǎo)纖維的制造過程中，作為單膜光纖隔離層摻雜劑。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬Na反應(yīng)，-64℃時在液氨中反應(yīng)。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。

高純六氟化硫的應(yīng)用

 六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C遇。

高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。

 高純六氟化硫主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。

 六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。

 該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成本的同時，還顯示出了極i佳的環(huán)保前景，近年來用量有明顯的提高。

 據(jù)權(quán)i威機構(gòu)預(yù)測，2010年我國將成為僅次于美國的世界第二大集成電路市場，總需求量約為500億美元。目前國內(nèi)使用高純六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線約有50條左右預(yù)計。2016年將達到700噸左右，

 國內(nèi)使用六氟化硫作為蝕刻氣的生產(chǎn)線有近50條，在未來的五年預(yù)計將有20條至30條新線建成。每年約消耗高純六氟化硫為600噸左右。用硫化氫與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。而國內(nèi)高純六氟化硫產(chǎn)品遠遠不能滿足市場需求，半導(dǎo)體廠家所用高純產(chǎn)品大部分依賴進口，這給高純六氟化企業(yè)提供更多的發(fā)展機遇。

      六氟化硫氣體中i毒有何癥狀？我們?nèi)绾巫圆槭欠癜l(fā)生六氟化硫氣體中i毒？六氟化硫氣體中存在的有毒氣體和設(shè)備內(nèi)產(chǎn)生的粉塵，對人體呼吸系統(tǒng)及粘膜等有一定的危害，一般六氟化硫氣體中i毒后會出現(xiàn)不同程度的流淚、打噴嚏、流涕，鼻腔咽喉有熱i辣感，發(fā)音嘶啞、咳嗽、頭暈、惡心、胸悶、頸部不適等癥狀。發(fā)生上述中i毒現(xiàn)象時，應(yīng)迅速將六氟化硫氣體中i毒者移至空氣新鮮處，并及時進行治i療。若遇到人的汗液，在人的皮膚表面形成氫i氟酸，它能穿透i皮膚表面向深層滲透，形成潰瘍和壞死，且不宜治i愈。