三十萬級潔凈棚產(chǎn)品結(jié)構(gòu):

1、主框架材料：主要為鋁型材框架、不銹鋼框架、碳鋼噴塑框架構(gòu)成。框架穩(wěn)固、美觀大方、不生銹、不產(chǎn)塵

2、四周隔斷：主要為防靜電網(wǎng)格簾、亞克力板材、PVC垂簾等。防靜電效果好、透明度高、網(wǎng)格清晰、柔韌度好、不變形、不易老化。

3、風(fēng)機單元過濾模塊FFU：裝配專用的離心風(fēng)機60000小時無故障運轉(zhuǎn)，，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級變速等特性，風(fēng)機質(zhì)量可靠加上獨特的風(fēng)道設(shè)計，大大提高了風(fēng)機的效率，過濾器為H13 99.99%@0.3um以上的，滿足百級到萬級別使用環(huán)境。潔凈送風(fēng)部分，一般選擇FFU層流罩(FFU層流送風(fēng)單元)潔凈棚的圍護材料一般包括：防靜電圍簾，(防靜電)亞克力板。

4、覆頂盲板：主要有不銹鋼板、碳鋼板材噴塑、鍍鋁鋅板材、靜電簾、亞克力板等。

5、照明燈具為潔凈室專用的無塵凈化燈。

6、控制部分：根據(jù)使用要求，主要有啟停開關(guān)控制、單組控制盒、觸摸屏控制等。

7、根據(jù)使用要求可選裝萬向腳輪（方便移動）。

8、提高凈化級別容易，擴展性強，且重復(fù)利用價值高

濕度過高產(chǎn)生的問題更多，相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。頂部由盲板鋪蓋，密縫嚴(yán)密，四周用防靜電簾/防靜電有機玻璃圍縫使棚區(qū)內(nèi)潔凈度達到100-10000級。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)1佳溫度范圍為35—45%。

潔凈棚(凈化棚)原理：風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入，經(jīng)初效過濾器，過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速勻速送出到潔凈棚(凈化棚)內(nèi)。風(fēng)機濾網(wǎng)機組FFU：大多數(shù)采用PCI離心風(fēng)機，具有長壽命、低噪聲、免維護、震動小、可無級變速等特性，風(fēng)機質(zhì)量可靠，工作壽命長，加上獨特的風(fēng)道設(shè)計，大大提高了風(fēng)機的效率、降低了噪聲。形成均流層，使?jié)崈艨諝鈿饬鞒蚀怪眴蜗蛄鳎瑥亩ＷC了工作區(qū)內(nèi)所要求的潔凈度。

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