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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的技術(shù)特點(diǎn)
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1、樣品臺:水冷樣品座,樣品座高度可調(diào),便于調(diào)整蒸距。調(diào)節(jié)范圍:樣品臺與基片的可調(diào)節(jié)范圍300mm.
2、電子槍:電子槍功率6kW可調(diào)(滿足金屬、絕緣材料高速蒸發(fā))4穴水冷坩堝(適用于對多種材料進(jìn)行蒸發(fā)鍍制多層膜且膜層較薄工藝中應(yīng)用效果好)。為保持E型電子槍蒸發(fā)絕緣穩(wěn)定性,配制高品質(zhì)束流掃描控制器,具有多種供控制程序進(jìn)行選擇的預(yù)設(shè)模式,方便于操作、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)積累。顯像管中控制電子運(yùn)動的電偏轉(zhuǎn)板與聚焦電子的聚焦線圈,對應(yīng)于增速器中控制粒子運(yùn)動軌道和聚焦粒子束流的多種電磁部件,如導(dǎo)向磁鐵、聚焦磁鐵、多極校正磁鐵等。配套相應(yīng)蒸發(fā)坩堝內(nèi)襯,以適應(yīng)不同材料,確保蒸發(fā)速率穩(wěn)定性,重復(fù)性.
電子束鍍膜機(jī)的特點(diǎn)/用途介紹
以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)電子束,歡迎新老客戶蒞臨。
產(chǎn)品特點(diǎn)/用途:
?設(shè)備一體化設(shè)計(jì),占地面積小,性能穩(wěn)定,性價比高,使用維護(hù)成本低;
?適用于實(shí)驗(yàn)室制備金屬單質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜、有機(jī)膜,也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等;
?適用于制備光學(xué)薄膜、導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜等。