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雙靶磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
設(shè)備用途:
用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。同時(shí)設(shè)備具有反濺射清洗功能,以提高膜的質(zhì)量和牢固度。
設(shè)備組成
系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶(2個(gè)靶)、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。
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雙室磁控濺射系統(tǒng)
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設(shè)備簡(jiǎn)介
主要特點(diǎn)是設(shè)備體積小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊易于操作,對(duì)實(shí)驗(yàn)室供電要求低;該系列設(shè)備主要部件采用進(jìn)口或者國(guó)內(nèi)最優(yōu)的配置,從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性;另外自主開(kāi)發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運(yùn)行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。 目前該系列有基本型、旗艦型、豪華型、尊享型4種不同配置可供選擇,可以根據(jù)客戶的不同需求進(jìn)行配置,比較靈活;標(biāo)配4只Φ2英寸永磁靶,4臺(tái)500W直流濺射電源,主要用來(lái)開(kāi)發(fā)納米級(jí)單層及多層的金屬導(dǎo)電膜、半導(dǎo)體膜以及絕緣膜等。靶材和輝光之間為電壓降區(qū)域,給正離子提供足夠能量的電場(chǎng),正離子加速轟擊到靶材上,使靶材的物質(zhì)濺射出來(lái),沉積到基體上(兩側(cè)的長(zhǎng)線)。
【磁控濺射鍍膜設(shè)備】使用注意事項(xiàng)
以下是沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)磁控濺射產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
磁控濺射鍍膜設(shè)備是目前一種鍍膜產(chǎn)品,相比傳統(tǒng)的水電鍍來(lái)講,磁控濺射鍍膜設(shè)備無(wú)毒性,能夠掩蓋,彌補(bǔ)多種水電鍍的缺陷。
近年來(lái)磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)得到了廣泛的應(yīng)用,現(xiàn)國(guó)內(nèi)磁控濺射鍍膜設(shè)備廠家大大小小的也非常多,但是專注于磁控濺射鍍膜設(shè)備生產(chǎn),
經(jīng)驗(yàn)豐富的卻造磁控濺射鍍膜設(shè)備廠家,就一定會(huì)有一定的規(guī)模,這類磁控濺射鍍膜設(shè)備不像是小件的東西,
磁控濺射鍍膜設(shè)備其技術(shù)含量非常的高,選購(gòu)磁控濺射鍍膜設(shè)備時(shí)一定要先了解。
磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)含量高,那么就一定要擁有一個(gè)非常強(qiáng)大的磁控濺射鍍膜設(shè)備技術(shù)工程隊(duì)伍,
磁控濺射鍍膜設(shè)備行業(yè)資深的專家,磁控濺射鍍膜設(shè)備可根據(jù)用戶的產(chǎn)品工藝及物殊要求設(shè)計(jì)配置。