水冷銅電極的特征有哪些？

它主要是解決現(xiàn)有高溫熔爐電極的密封及高溫燒蝕的問題。它的主要特征是：包括電極上部分、電極下部分和外接電源接頭；其中，電極上部分由連為一體的接線柱、固定臺階和冷卻水管組成，接線柱、冷卻水管外表面設(shè)有螺紋；所外接電源接頭套裝在冷卻水管上，由上、下螺母固定；電極下部分包括與冷卻水管下端配合的緊固螺母端蓋，該緊固螺母端蓋上固定有進水管和排水管，進水管上端口伸向冷卻水管上部的電極上部分受熱區(qū)，排水管上端口位于冷卻水管底部。具有結(jié)構(gòu)簡單、易裝配、能有效提高高溫熔爐電極使用壽命的特點，主要用于高溫熔爐的電源輸入。主要用于薄膜生長和樣品制備，但是也可以當作摻雜源(如Si或Be摻雜)使用。

屬于高溫熔爐用電極【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種高溫熔爐用水冷電極裝置，該裝置主要用于高溫熔爐的電源輸入，解決高溫熔爐電極的密封及高溫燒蝕問題，該裝置結(jié)構(gòu)簡單，易裝配，能有效提高高溫熔爐電極的使用壽命。

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水冷電纜電極性能要求

水冷電纜外護套膠管耐擊穿電壓V≧2300V。

水冷電纜外護套膠管耐工作水壓P≧0.6Mpa。

外護套膠管與電極接口處冷卻水無滲漏。

軟體導線與電極在專用設(shè)備上冷擠壓緊固。

200mm2標稱截面積的試驗拉力為15KN，在此基礎(chǔ)上，水冷電纜標稱截面積每增加100mm2，試驗拉力值相應(yīng)增, 加5KN。

水冷電纜的表面溫升（包括連接處）不大于40K。

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靶材的應(yīng)用領(lǐng)域

以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司為您一起分享的內(nèi)容，沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司專業(yè)生產(chǎn)磁控靶產(chǎn)品，歡迎新老客戶蒞臨。

1 :微電子領(lǐng)域

2 :平面顯示器用靶材

3 :存儲技術(shù)用靶材

濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕等行業(yè)。