潔凈廠房使用驗收后，應編寫使用驗收報告，其主要內(nèi)容有：

1 潔凈廠房中各種設施(包括生產(chǎn)工藝設備)等的開啟狀態(tài)描述;

2 測試的潔凈室(區(qū))人員及其活動情況的描述;

3 分項測試記錄及分析意見(包括測試點位置、座標等);

4 測試儀器的有效校驗證書;

5 驗收出具相關結論。

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對于半導體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。

清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置：對于300,000級空氣凈化處理，可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對于凈化處理，應使用用于初級，中級和過濾器的三級過濾器;中效或空氣過濾器應根據(jù)小于或等于額定風量選擇;中效空氣過濾器應集中在凈化空調(diào)的正壓段;應在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。