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無塵車間的節(jié)能原則
無塵車間里存在大量可以節(jié)約能源的地方,例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)(HVAC)、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。二、送風(fēng)風(fēng)機,直接影響送風(fēng)的總量,直接影響風(fēng)機過濾單元的功用。 HVAC系統(tǒng)消耗的電力超過了整座晶片制造廠用電量的一半。之所以造成大量浪費電力及HVAC的容量過剩,很大程度上是因為在設(shè)計和建造工廠時走捷徑,盡可能地壓縮前期投入,而不顧后期運行費用。高的效率的設(shè)計和高的效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本,會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。 對已建成工廠的改建通常會陷入到毫無意義的經(jīng)濟漩渦當(dāng)中 。
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