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光刻膠
北京賽米萊德貿(mào)易有限公司供應(yīng)美國Futurrex新型lift-off光刻膠NR9-3000PY,此款負(fù)膠的設(shè)計適用于比較寬的波長范圍和i線(366納米)曝光工具。其中,根據(jù)顏色的不同,可以將光刻膠分為黑色、紅色、綠色、藍(lán)色四種。當(dāng)顯影后NR9-3000PY顯示出負(fù)的側(cè)壁角度,是lift-off工藝中比較簡易的光刻膠。和其他膠相比NR9i-3000PY有下面的優(yōu)勢:
光刻膠市場
我國光刻膠市場規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長11%,高于國際市場增速,但全球占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國光刻膠產(chǎn)量為9.75萬噸,而需求量為10.12萬噸,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計,未來仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢估計,得益于我國平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國光刻膠市場需求,在2022年可能突破27.2萬噸。在光刻膠生產(chǎn)種類上,我國光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴進(jìn)口。放眼國際市場,光刻膠也主要被美國Futurrex 的光刻膠、日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國杜邦、德國巴斯夫等化工寡頭壟斷。因?yàn)橛醚谀ぐ婧蛢煞N不同光刻膠結(jié)合,在晶園表面光刻得到的尺寸是不一樣的,由于光在圖形周圍的衍射效應(yīng),使得用負(fù)膠和亮場掩膜版組合在光刻膠層上得到的圖形尺寸要比掩膜版上的圖形尺寸小。
PR1-1000A1NR7 6000P光刻膠報價NR7 6000P光刻膠報價
5,顯影液
在已經(jīng)曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或?qū)⑵浣菰陲@影液中,正膠是曝光區(qū)、而負(fù)膠是非曝光區(qū)的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來,形成三維圖像。
顯影完成后通常進(jìn)行工藝線的顯影檢驗(yàn),通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。
影響顯影的效果主要因素:
1,曝光時間,2前烘溫度和時間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動情況。
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6,堅膜
堅膜也叫后烘,是為了去除由于顯影液的浸泡引起膠膜軟化、溶脹現(xiàn)象,能使膠膜附著能力增強(qiáng),康腐蝕能力提高。
堅膜溫度通常情況高于前烘和曝光后烘烤的溫度 100-140度 10-30min
7,顯影檢驗(yàn)
光刻膠鉆蝕、圖像尺寸變化、套刻對準(zhǔn)不良、光刻膠膜損傷、線條是否齊、陡
小孔、小島。
NR9-3000PY 相對于其他光刻膠具有如下優(yōu)勢:
- 優(yōu)異的分辨率性能
- 快速地顯影
- 可以通過調(diào)節(jié)曝光能量很容易地調(diào)節(jié)倒梯形側(cè)壁的角度
- 耐受溫度100℃
- 室溫儲存保質(zhì)期長達(dá)3 年