襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。安裝襯板時，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會造成清潔困難，可使用噴沙等方法來清潔。鍍膜常用在相機鏡頭、近視、老花鏡等矯正眼鏡上使用。鍍膜是在表面鍍上非常薄的透明薄膜。

薄膜表面出現(xiàn)褐色條紋原因：①真空度低解決方法：清潔真空室內(nèi)的送鋁、蒸鍍裝置、冷卻系統(tǒng)、放卷、卷取裝置及導輥；檢查抽真空系統(tǒng)；降低環(huán)境濕度。②薄膜釋放氣體。解決方法：薄膜預干燥；延長抽真空時間。③噴鋁過多。解決方法：提高車速；降低蒸發(fā)舟電流；降低送鋁速度。④蒸發(fā)舟內(nèi)有雜質(zhì)。解決方法：清潔蒸發(fā)舟及熱屏蔽板。⑤蒸發(fā)舟老化。解決方法：更換蒸發(fā)舟。


電漿中的陽離子會加速沖向作為被濺鍍材的負電極表面，這個沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成薄膜。一般來說，利用濺鍍制程進行薄膜披覆有幾項特點：(1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。(2)再適當?shù)脑O(shè)定條件下可將多元復雜的靶材制作出同一組成的薄膜。(3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體，可以制作靶材物質(zhì)與氣體分子的混合物或化合物。

原來磁場強弱雖不好進行控制，但同時工件也在同時運轉(zhuǎn)，且是靶材原子多次沉積此案結(jié)束鍍膜工序，在一段時間內(nèi)雖然某些部位厚，某些部位薄，但另一個時間內(nèi)，磁場強的作用下在原來薄的部位沉積上厚的，在厚的部位沉積上薄的，如此多次，整個膜層成膜后，均勻性還是比較不錯的。

亞氣的送氣均勻性也會對膜層均勻性產(chǎn)生影響，其原理實際上和真空度差不多，因為亞氣的進入，真空室內(nèi)壓強會產(chǎn)生變化，均勻的壓強大小可以控制成磁控濺射真空鍍膜機膜厚度的均勻性。